激光干涉儀是一種高精度的測(cè)量工具，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量工具。其工作原理基于干涉原理，即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí)，會(huì)產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中，激光束被分為兩路，一路經(jīng)固定反射鏡反射，另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射，兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)而計(jì)算出位移量。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家好

（1）幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較好精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家好它通過將光束分成兩部分，分別經(jīng)過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣。

分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：?jiǎn)晤l激光干涉儀：在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)，**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺，后用于在計(jì)量室中精密測(cè)長。它對(duì)環(huán)境要求較高，周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài)，以避免空氣湍流對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀：出現(xiàn)于1970年，適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強(qiáng)。雙頻激光干涉儀常用于檢定測(cè)長機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。三、應(yīng)用

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)， 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng)。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。

干涉儀是很***的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱， 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1]， 光學(xué)， 工程測(cè)量， 海洋學(xué)， 地震學(xué)， 波譜分析， 量子物理實(shí)驗(yàn)， 遙感， 雷達(dá)等等精密測(cè)量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化， 從而可以通過測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動(dòng)在一點(diǎn)處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動(dòng)為廣泛應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量、精密制造等領(lǐng)域。太倉通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家好

激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：科學(xué)研究：用于檢測(cè)引力波、測(cè)量微小位移和振動(dòng)等。工業(yè)制造：用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中，激光干涉儀能夠測(cè)量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性。計(jì)量學(xué)：用于長度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信：用于光纖傳感和信號(hào)處理。四、主要特點(diǎn)高精度：激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量精度，非常適合各種高精度測(cè)量應(yīng)用。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家好

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