用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:有少量殘渣4:基本能剝離,但一部分殘渣多5:一半以上能剝離,但一部分殘渣多6:基本不能剝離,但一部分剝離7:不能剝離【表2】由該結果可知,在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成,與使用氫氧化鈉的比較組成相比,即使l/s狹窄,也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理,將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90%以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外,剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網(wǎng)眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條件設為全錐噴嘴且流量5l/min,江蘇哪家剝離液生產(chǎn)、壓力,江蘇哪家剝離液生產(chǎn)。將其結果示于表3,江蘇哪家剝離液生產(chǎn)。(4)金屬的浸蝕性的評價方法利用上述評價方法實施將噴涂運行時間固定在10分鐘的處理。其后,將基板的鍍銅部位通過電子顯微鏡(日立高新技術制:s-3400n)按照以下的評價基準評價表面形狀。其結果也示于表3。<金屬浸蝕性的評價基準>(分數(shù))(內(nèi)容)1:沒有變化2:極略微有變化(用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:略有變化4:發(fā)生***變色【表3】剝離時間(sec)剝離片尺寸。剝離液的大概費用大概是多少?江蘇哪家剝離液生產(chǎn)
在生產(chǎn)方面,剝離液的純度對于應用領域有所限制,高純度剝離液生產(chǎn)工藝復雜,且對于生產(chǎn)設備、生產(chǎn)環(huán)境控制均有較高的要求,整體技術門檻較高。在資金方面,為取得競爭優(yōu)勢,剝離液生產(chǎn)企業(yè)需要在研發(fā)、技術、設備方面投入大量資金,因此為實現(xiàn)剝離液產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)所需的資金門檻相對較高。新思界產(chǎn)業(yè)分析人士表示,剝離液作為半導體制造的關鍵性濕電子化學品,在半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展背景下,剝離液市場需求攀升。就總體來看,剝離液雖然是一種關鍵化工原料,但由于需求量較少,因此市場規(guī)模偏小,生產(chǎn)企業(yè)由大型濕電子化學品主導,新進入企業(yè)難以尋求發(fā)展機遇。江蘇哪家剝離液生產(chǎn)如何挑選一款適合公司的剝離液?
在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的***種結構示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的***種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設置通過***管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在***管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60。具體的,圖1所示出的是閥門開關60設置在***管道40上的示例圖。
本發(fā)明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應用也越來越***。在半導體元器件制造過程中,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產(chǎn)品的質量。而隨著電子行業(yè)的發(fā)展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對環(huán)境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請人研發(fā)出以下的對使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經(jīng)過蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。蘇州口碑好的剝離液公司。
博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務,該服務包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務,該服務包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務,該服務包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務,該服務包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)哪家公司的剝離液的有售后?江蘇哪家剝離液生產(chǎn)
如何正確使用剝離液。江蘇哪家剝離液生產(chǎn)
例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實施例以下,舉出實施例對本發(fā)明進行詳細說明,但本發(fā)明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液!颈1】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實施從層壓到圖案曝光、顯影。向本基板以15μm厚實施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,切出50×50mm2作為試驗片。需要說明的是,該試驗片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗片。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評價方法上述評價方法中將噴涂運行時間固定在4分鐘,按照以下的評價基準評價l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘渣。將其結果示于表2。<剝離殘渣的評價基準>(分數(shù))(內(nèi)容)1:無殘渣2:有極少量殘渣。江蘇哪家剝離液生產(chǎn)
蘇州博洋化學股份有限公司成立于1999-10-25,同時啟動了以博洋化學為主的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)業(yè)布局。博洋化學經(jīng)營業(yè)績遍布國內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務布局涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等板塊。我們強化內(nèi)部資源整合與業(yè)務協(xié)同,致力于高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等實現(xiàn)一體化,建立了成熟的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液運營及風險管理體系,累積了豐富的精細化學品行業(yè)管理經(jīng)驗,擁有一大批專業(yè)人才。公司坐落于高新區(qū)華橋路155號,業(yè)務覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務創(chuàng)收,進一步為當?shù)亟?jīng)濟、社會協(xié)調發(fā)展做出了貢獻。