發(fā)貨地點(diǎn):江蘇省蘇州市
發(fā)布時(shí)間:2025-03-24
本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問(wèn)題,而避免其使用,江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn)。近年來(lái),為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問(wèn)題點(diǎn),還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1),由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒(méi)有微細(xì)地粉碎,因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問(wèn)題點(diǎn),F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問(wèn)題因此,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問(wèn)題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,從而完成本發(fā)明。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn),其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。此外,江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn),本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液套件。剝離液的發(fā)展趨勢(shì)如何。江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn)
本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,請(qǐng)參閱圖5,圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;步驟140、若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門開(kāi)關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過(guò)濾器。若過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過(guò)濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門開(kāi)關(guān)。在上述實(shí)施例中,對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分,可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。以上對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本申請(qǐng)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本申請(qǐng)的技術(shù)方案及其**思想。安徽BOE蝕刻液剝離液推薦廠家京東方用的哪家的剝離液?
1.顯影液:顯影液是一種溶液,用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置,使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液:剝離液是一種特殊的溶劑,用于將PCB板上的銅線軌道剝離開(kāi),以便重新焊接元件。3.蝕刻液:蝕刻液是一種酸性溶液,用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一種混合物,用于將PCB板上的塵埃、污垢和其他殘留物消除干凈,以便進(jìn)行焊接和裝配。
1.顯影液:是指用于顯影制版的液體,一般由溶劑、硫酸銅、有機(jī)酸和抗氧化劑等組成。2.剝離液:是指用于把制版上的顯影膜剝離出來(lái)的液體,一般由硝酸鋁、硫酸鈉等組成。3.蝕刻液:是指用于蝕刻制版的液體,一般由硝酸銅、硝酸鈉、硝酸鋅等組成。4.清洗液:是指用于清洗制版的液體,一般由水、硝酸、硫酸、乙醇等組成。
所述抽真空氣體修飾法包括如下步驟:將將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,對(duì)密閉空間抽真空至光刻膠抗粘層氣化,保持1分鐘以上,直接取出襯底。進(jìn)一步的改進(jìn),所述襯底為硅、氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、碳化硅、鈮酸鋰、金剛石、藍(lán)寶石或ito制成。進(jìn)一步的改進(jìn),所述步驟(2)對(duì)襯底修飾的試劑包括hmds和十三氟正辛基硅烷;對(duì)襯底修飾的試劑鍍?cè)谝r底表面。進(jìn)一步的改進(jìn),所述所述光刻膠包括pmma,zep,瑞紅膠,az膠,納米壓印膠和光固化膠。進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠厚度為1nm-100mm進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓的方法為電子束曝光,離子束曝光,聚焦離子束曝光,重離子曝光,x射線曝光,等離子體刻蝕,紫外光刻,極紫外光刻,激光直寫或納米壓印。進(jìn)一步的改進(jìn),所述黏貼層為pdms,紫外固化膠,熱釋放膠,高溫膠帶,普通膠帶,pva,纖維素或ab膠。上述選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法制備的微納結(jié)構(gòu)用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。本發(fā)明的有益效果在于,解決了現(xiàn)有負(fù)性光刻膠加工效率低,難于去膠,去膠過(guò)程中損傷襯底,對(duì)于跨尺度結(jié)構(gòu)的加工過(guò)程中加工精度和效率的矛盾等問(wèn)題。蘇州性價(jià)比較好的剝離液的公司聯(lián)系電話。
所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8上方安裝有收卷調(diào)速器801,所述收卷調(diào)速器801一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)802,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)802一側(cè)安裝有輥固定架803,所述輥固定架803一側(cè)安裝有膠水盛放箱804,所述膠水盛放箱804下方安裝有點(diǎn)膠頭805,所述點(diǎn)膠頭805下方安裝有卷邊輥806,所述卷邊輥806一側(cè)安裝有膠面收卷輥807,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8一側(cè)安裝有電加熱箱9,所述電加熱箱9下方安裝有熱風(fēng)噴頭10,所述熱風(fēng)噴頭10下方安裝有干燥度感應(yīng)器11,所述干燥度感應(yīng)器11下方安裝有電氣控制箱12,所述電氣控制箱12上方安裝有液晶操作面板13。本實(shí)施例中,所述主支撐架1與所述橫向支架2通過(guò)螺栓連接,所述伺服變頻電機(jī)3與所述電機(jī)減速箱4通過(guò)導(dǎo)線連接。本實(shí)施例中,所述印刷品傳送帶5與所述印刷品放置箱6通過(guò)皮帶連接,所述電加熱箱9與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8通過(guò)導(dǎo)線連接。本實(shí)施例中,所述油墨放置箱701與所述油墨加壓器702通過(guò)管道連接,所述油墨加壓器702與所述高壓噴頭703通過(guò)管道連接,所述印刷輥705共有兩個(gè),對(duì)稱設(shè)置,所述防濺射擋板704與所述油墨放置箱701焊接。本實(shí)施例中,所述收卷調(diào)速器801與所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)802通過(guò)導(dǎo)線連接,所述輥固定架803與所述膠面收卷輥807通過(guò)軸連接。哪家剝離液的的性價(jià)比好。江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn)
剝離液的類別一般有哪些。江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn)
本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法,可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬(wàn)倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工,為光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mem制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、對(duì)襯底進(jìn)行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓;所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開(kāi)黏貼層,黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走,留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu);黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進(jìn)一步的改進(jìn),在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。江蘇銀蝕刻液剝離液生產(chǎn)
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