博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),上海銀蝕刻液剝離液、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流,上海銀蝕刻液剝離液。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,上海銀蝕刻液剝離液、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)哪家公司的剝離液的口碑比較好?上海銀蝕刻液剝離液
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導(dǎo)體集成電路等工藝制造過程中,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進(jìn)一步用剝離液將涂覆在微電路保護(hù)區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產(chǎn)工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關(guān)清洗作業(yè)四大階段,其中在去光阻階段會產(chǎn)生部分剝離液。印制電路板生產(chǎn)工藝相當(dāng)復(fù)雜。不僅設(shè)備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長,用水量大,而且所用的化學(xué)藥品(包括各種添加劑)種類多、用量大。因此,在用減成法生產(chǎn)印刷線路板的過程中,產(chǎn)污環(huán)節(jié)多,種類繁雜,物料損耗大?煞譃楦煞庸(設(shè)計和布線、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內(nèi)層板黑膜氧化、去孔壁樹脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風(fēng)整平等)過程。其中在脫模(剝膜)工序為了脫除廢舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑為銅的緩蝕劑進(jìn)行操作,整個工序中會產(chǎn)生大量的剝離液,有機溶劑成分較大。江蘇京東方用的蝕刻液剝離液報價哪家的剝離液的價格低?
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點,比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步。有時直接采用**+異丙醇的方式就可以去除。但是對于等離子體處理過的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把**加熱到60℃,雖然去膠效果快了一些,但是**沸點是60℃,揮發(fā)的特別快,而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險,因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。介紹常見的一款剝離液,該剝離液去膠效果好,但是對砷化鎵有輕微腐蝕,不易長時間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同,但基本上都要加熱。
每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道301上。在一些實施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率。剝離液的配方是什么?
本申請涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過該制程可以實現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的,F(xiàn)有技術(shù)中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會導(dǎo)致剝離液機臺中的過濾器(filter)堵塞,從而導(dǎo)致機臺無法使用,并且需要停止所有剝離液機臺的工作,待將filter清理后再次啟動,降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實現(xiàn)要素:本申請實施例提供一種剝離液機臺及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率。本申請實施例提供一種剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。在一些實施例中。剝離液適用于哪些行業(yè)。上海銀蝕刻液剝離液
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用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:有少量殘渣4:基本能剝離,但一部分殘渣多5:一半以上能剝離,但一部分殘渣多6:基本不能剝離,但一部分剝離7:不能剝離【表2】由該結(jié)果可知,在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成,與使用氫氧化鈉的比較組成相比,即使l/s狹窄,也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設(shè)為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理,將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90%以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外,剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設(shè)置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網(wǎng)眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條件設(shè)為全錐噴嘴且流量5l/min、壓力。將其結(jié)果示于表3。(4)金屬的浸蝕性的評價方法利用上述評價方法實施將噴涂運行時間固定在10分鐘的處理。其后,將基板的鍍銅部位通過電子顯微鏡(日立高新技術(shù)制:s-3400n)按照以下的評價基準(zhǔn)評價表面形狀。其結(jié)果也示于表3。<金屬浸蝕性的評價基準(zhǔn)>(分?jǐn)?shù))(內(nèi)容)1:沒有變化2:極略微有變化(用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:略有變化4:發(fā)生***變色【表3】剝離時間(sec)剝離片尺寸。上海銀蝕刻液剝離液
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司致力于精細(xì)化學(xué)品,是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等,價格合理,品質(zhì)有保證。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,在精細(xì)化學(xué)品深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),以自主產(chǎn)品為重點,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造精細(xì)化學(xué)品良好品牌。博洋化學(xué)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑,讓企業(yè)發(fā)展再上新高。