濕電子化學品位于電子信息產業(yè)偏中上游的材料領域。濕電子化學品上游是基 礎化工產品,下游是電子信息產業(yè)(信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家、太陽能電池、**等領域)。濕電子化學品的生產工藝主要采用物 理的提純技術及混配技術,將工業(yè)級的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學試劑。濕電子化學品行業(yè)是精細化工和電 子信息行業(yè)交叉的領域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點,具有品種多、 質量要求高、對環(huán)境潔凈度要求苛刻,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家、產品更新?lián)Q代快、產品附加值高、資金投入 量大等特點,是化工領域相當有發(fā)展前景的領域之一。剝離液的類別一般有哪些。安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家
實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發(fā)明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。安徽BOE蝕刻液剝離液批量定制蘇州性價比較好的剝離液的公司聯(lián)系電話。
所述膠面剝離結構8上方安裝有收卷調速器801,所述收卷調速器801一側安裝有收卷驅動電機802,所述收卷驅動電機802一側安裝有輥固定架803,所述輥固定架803一側安裝有膠水盛放箱804,所述膠水盛放箱804下方安裝有點膠頭805,所述點膠頭805下方安裝有卷邊輥806,所述卷邊輥806一側安裝有膠面收卷輥807,所述膠面剝離結構8一側安裝有電加熱箱9,所述電加熱箱9下方安裝有熱風噴頭10,所述熱風噴頭10下方安裝有干燥度感應器11,所述干燥度感應器11下方安裝有電氣控制箱12,所述電氣控制箱12上方安裝有液晶操作面板13。本實施例中,所述主支撐架1與所述橫向支架2通過螺栓連接,所述伺服變頻電機3與所述電機減速箱4通過導線連接。本實施例中,所述印刷品傳送帶5與所述印刷品放置箱6通過皮帶連接,所述電加熱箱9與所述膠面剝離結構8通過導線連接。本實施例中,所述油墨放置箱701與所述油墨加壓器702通過管道連接,所述油墨加壓器702與所述高壓噴頭703通過管道連接,所述印刷輥705共有兩個,對稱設置,所述防濺射擋板704與所述油墨放置箱701焊接。本實施例中,所述收卷調速器801與所述收卷驅動電機802通過導線連接,所述輥固定架803與所述膠面收卷輥807通過軸連接。
上述組分中,酰胺是用于溶解光刻膠;醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;環(huán)胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力;緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度;潤濕劑,能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。進一步技術方案中,所述的步驟s3中重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制備新液時,加入的純化液體質量分數為:70%-95%,加入的添加劑質量分數為:5%-10%;加入的酰胺化合物質量分數為:0-15%;加入的醇醚化合物質量分數為0-5%。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調節(jié)中心制備的剝離液新液中各組分的質量分數,將配比調節(jié)到更優(yōu)的比例,使得剝離液新液的效果更好。經由上述的技術方案可知,與現有技術相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明對剝離液廢液進行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過預先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環(huán)再生,減少資源的浪費以及對環(huán)境的危害。如何正確使用剝離液。
本申請涉及半導體工藝技術領域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術:剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過該制程可以實現兩次光刻合并為一次以達到光罩縮減的目的,F有技術中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會導致剝離液機臺中的過濾器(filter)堵塞,從而導致機臺無法使用,并且需要停止所有剝離液機臺的工作,待將filter清理后再次啟動,降低了生產效率。技術實現要素:本申請實施例提供一種剝離液機臺及其工作方法,可以提高生產效率。本申請實施例提供一種剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過***管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設置有閥門開關。在一些實施例中。哪家的剝離液價格比較低?浙江市面上哪家剝離液價格
ITO剝離液的配方是什么?安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家
精細化學品行業(yè)的傳統(tǒng)領域主要包括高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等領域。經過長期積累,我國精細化工行業(yè)在傳統(tǒng)領域已經基本滿足了國民經濟發(fā)展的需要,部分產品已具有一定的國際競爭力,染料、農藥的產量已處于全球首位,涂料產量已達到全球第四位。精細化工在生產過程中會產生廢水、廢氣、固體廢物等有害物質,企業(yè)需加入大量資本用于這些有害物質的治理,使生產型企業(yè)生產符合我國環(huán)境保護標準。隨著我國環(huán)境保護標準日益提高,企業(yè)必須持續(xù)加大污染物處理技術研發(fā)、環(huán)境保護設施加入和污染物處置力度。此外,由于發(fā)達地區(qū)人力成本高,超過專用保護期的農藥原藥和醫(yī)藥原料藥已無生產優(yōu)勢,以中國與印度為象征的發(fā)展中國地區(qū)逐漸成為農藥、醫(yī)藥中間體和銷售的主要生產基地。隨著社會經濟的進一步發(fā)展,人們對電子、汽車、機械工業(yè)、建筑新材料、新能源及新型環(huán)保材料的需求將進一步上升,電子與信息化學品、表面工程化學品、醫(yī)藥化學品等將得到進一步的發(fā)展,全球范圍內精細化學品市場規(guī)模將保持高于傳統(tǒng)化工行業(yè)的速度飛速增長。安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家
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