發(fā)貨地點(diǎn):江蘇省蘇州市
發(fā)布時(shí)間:2025-05-22
縮短了某些領(lǐng)域與發(fā)達(dá)國(guó)家技術(shù)上的差距.騰田化學(xué)技術(shù)團(tuán)隊(duì)具有豐富分析及研發(fā)經(jīng)驗(yàn),徹底解決了化工領(lǐng)域如金屬表面處理劑、清洗劑、金屬加工液、橡膠、塑料、膠黏劑、涂料、水處理藥劑、紡織印染助劑等企業(yè)配方改進(jìn)、新產(chǎn)品研發(fā)的切實(shí)問題;正是騰田化學(xué)質(zhì)量的口碑,贏得多個(gè)領(lǐng)域**企業(yè)關(guān)注,成功地建立精細(xì)化學(xué)品研發(fā)平臺(tái);在騰田化學(xué)共同努力下,民營(yíng)企業(yè)不斷技術(shù)創(chuàng)新,有利于化工行業(yè)的良好發(fā)展.騰田化學(xué)溫馨提示:當(dāng)你有產(chǎn)品分析數(shù)據(jù),但是無法后期生產(chǎn)的時(shí)候,可以聯(lián)系騰田化學(xué)科技(上海)有限公司。騰田化學(xué)的業(yè)務(wù)范圍:1.各類膠粘劑產(chǎn)品配方分析以及產(chǎn)品研發(fā),為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);2.涂料及油墨產(chǎn)品配方分析,為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);3.塑料和橡膠制品配方分析,包括各種助劑,如增塑劑、抗氧劑、阻燃劑等,為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);4.水泥緩凝劑分析:民用和各類工業(yè)用水泥緩凝劑,金屬表面處理劑等,為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);5.工業(yè)故障分析診斷,安徽市面上哪家剝離液按需定制,提供解決方案;未知物剖析,各種未知固體和液體,膏體等,安徽市面上哪家剝離液按需定制,為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);6.日化產(chǎn)品:洗發(fā)、護(hù)發(fā),安徽市面上哪家剝離液按需定制、護(hù)膚產(chǎn)品等;光亮劑、殺蟲劑、空氣清新劑等,為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn)。上海和輝光電用的哪家的剝離液?安徽市面上哪家剝離液按需定制
本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法,可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工,為光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mem制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、對(duì)襯底進(jìn)行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓;所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開黏貼層,黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走,留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu);黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進(jìn)一步的改進(jìn),在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。江蘇什么剝離液供應(yīng)剝離液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?
在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的***種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí),如果過濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1,圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺(tái)100的***種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過***管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級(jí)腔室102連接;其中,至少在***管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在***管道40上的示例圖。
本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢(shì)的推動(dòng)下,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,立體空間大,引線距離短,信號(hào)傳輸快,所以能夠更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會(huì)對(duì)**外層的晶圓表面進(jìn)行顯影蝕刻,當(dāng)中會(huì)用到光刻膠剝離液。以往的光刻膠剝離液對(duì)金屬的腐蝕較大,可能進(jìn)入疊層內(nèi)部造成線路減薄,藥液殘留,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會(huì)對(duì)疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會(huì)對(duì)晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。具體的。天馬微電子用的哪家的剝離液?
上述組分中,酰胺是用于溶解光刻膠;醇醚是用于潤(rùn)濕、膨潤(rùn)、溶解光刻膠的;環(huán)胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力;緩蝕劑,用于降低對(duì)金屬的腐蝕速度;潤(rùn)濕劑,能夠增強(qiáng)親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟s3中重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制備新液時(shí),加入的純化液體質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:70%-95%,加入的添加劑質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:5%-10%;加入的酰胺化合物質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:0-15%;加入的醇醚化合物質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0-5%。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調(diào)節(jié)中心制備的剝離液新液中各組分的質(zhì)量分?jǐn)?shù),將配比調(diào)節(jié)到更優(yōu)的比例,使得剝離液新液的效果更好。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明對(duì)剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質(zhì)是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過預(yù)先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環(huán)再生,減少資源的浪費(fèi)以及對(duì)環(huán)境的危害。龍騰光電用的哪家的剝離液?上海中芯國(guó)際用剝離液銷售價(jià)格
蘇州口碑好的剝離液公司。安徽市面上哪家剝離液按需定制
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點(diǎn),比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步。有時(shí)直接采用**+異丙醇的方式就可以去除。但是對(duì)于等離子體處理過的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把**加熱到60℃,雖然去膠效果快了一些,但是**沸點(diǎn)是60℃,揮發(fā)的特別快,而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險(xiǎn),因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。介紹常見的一款剝離液,該剝離液去膠效果好,但是對(duì)砷化鎵有輕微腐蝕,不易長(zhǎng)時(shí)間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同,但基本上都要加熱。安徽市面上哪家剝離液按需定制
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司坐落于高新區(qū)華橋路155號(hào),是集設(shè)計(jì)、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后服務(wù)于一體,精細(xì)化學(xué)品的生產(chǎn)型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年,持續(xù)為用戶提供整套高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液的解決方案。本公司主要從事高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液領(lǐng)域內(nèi)的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產(chǎn)品的研究開發(fā)。擁有一支研發(fā)能力強(qiáng)、成果豐碩的技術(shù)隊(duì)伍。公司先后與行業(yè)上游與下游企業(yè)建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系。博洋化學(xué)集中了一批經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù),并能根據(jù)用戶需求,定制產(chǎn)品和配套整體解決方案。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司以先進(jìn)工藝為基礎(chǔ)、以產(chǎn)品質(zhì)量為根本、以技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力,開發(fā)并推出多項(xiàng)具有競(jìng)爭(zhēng)力的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)品,確保了在高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液市場(chǎng)的優(yōu)勢(shì)。