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發(fā)布時(shí)間:2025-05-25
光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內(nèi)外研究人員所關(guān)注及研究,雖然在**網(wǎng)及技術(shù)網(wǎng)上對剝離液的闡述較少,但當(dāng)前國內(nèi)與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚、3%的光刻膠和。現(xiàn)有技術(shù)***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機(jī)成分,上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格,回收得到的有機(jī)組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應(yīng)用,上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格。這種方法雖然流程簡便,但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過程中,光刻膠濃度達(dá)到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降,使溶劑回收效率大為降低,上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格,處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈,進(jìn)而影響工藝操作效率。另外,美國專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設(shè)置過濾回收裝置,通過粗孔和細(xì)孔過濾器的兩步組合過濾法除去光刻膠,將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。 如何挑選一款適合公司的剝離液?上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格
博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài)。
本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法,可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工,為光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mem制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、對襯底進(jìn)行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓;所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開黏貼層,黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走,留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu);黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進(jìn)一步的改進(jìn),在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實(shí)施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因?yàn)榉肿又械拿焰I不易被酸、堿破壞,所以穩(wěn)定性較高,水溶性較好,耐電解質(zhì),易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現(xiàn)弱堿性,所以在酸性介質(zhì)中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。剝離液的主要成分是什么?
隨著國內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學(xué)品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風(fēng)靡全球的智能手持設(shè)備、移動(dòng)終端等簡直成為了光電行業(yè)的風(fēng)向標(biāo):與之相關(guān)的光電領(lǐng)域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業(yè)的其他領(lǐng)域,雖然也有增長,但是遠(yuǎn)不及與智能手持設(shè)備相關(guān)的光電領(lǐng)域。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機(jī)胺和極性有機(jī)溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機(jī)胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC), N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機(jī)溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質(zhì)量輕、清晰度高、圖像色彩好等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計(jì)算,未來隨著年代的更替,LCD的生產(chǎn)量液將會(huì)增加,從而導(dǎo)致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時(shí)也產(chǎn)生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外,蘇州性價(jià)比高的剝離液。上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格
剝離液的類別一般有哪些。上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格
添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機(jī)溶劑體系,廢液可通過蒸餾回收80-95%有效物,得出純化液體,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復(fù)的,可以認(rèn)為,添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進(jìn)行配制的,添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進(jìn)行的添加、補(bǔ)充,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么,可以知道,在預(yù)先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上,可以通過預(yù)先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑,然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時(shí),可以將添加劑加入純化液體中,再進(jìn)行質(zhì)量分?jǐn)?shù)的調(diào)節(jié)。純化液體是將剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾,去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質(zhì),然后得出的純化液體,純化液體中所含的組分物質(zhì),都是剝離液新液所含有的組分物質(zhì)。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質(zhì)量分為:45%-60%;含有的醇醚化合物的質(zhì)量分為:35%-50%。上海哪家蝕刻液剝離液什么價(jià)格
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司主要經(jīng)營范圍是精細(xì)化學(xué)品,擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場口碑。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液深受客戶的喜愛。公司從事精細(xì)化學(xué)品多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù),還有一批專業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。博洋化學(xué)立足于全國市場,依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,及時(shí)響應(yīng)客戶的需求。