本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法,可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工,安徽配方剝離液,為光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mem制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二,安徽配方剝離液、對襯底進行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓;所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開黏貼層,黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走,留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu);黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進一步的改進,在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,安徽配方剝離液,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。哪家剝離液的的性價比好。安徽配方剝離液
腔室10及過濾器30可以采用與現(xiàn)有技術(shù)相同的設(shè)計。處于剝離制程中的玻璃基板,按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進入相應(yīng)的存儲箱20,在剝離液的水平面超過預(yù)設(shè)高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內(nèi)。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開關(guān)60設(shè)置在***管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時,關(guān)閉位于過濾器30兩側(cè)的***管道40及第二管道50上的閥門開關(guān)60,可以保證當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20內(nèi)剝離液不會流出,同時下一級腔室102內(nèi)的剝離液也不會流出。在一些實施例中,請參閱圖3,圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。過濾器30包括多個并列排布的子過濾器301,所述***管道40包括多個***子管道401,每一所述***子管道401與一子過濾器301連通,且所述多個***子管道401與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連通。在一些實施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通。江蘇中芯國際用剝離液商家蘇州口碑好的剝離液公司。
其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者,本發(fā)明涉及印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法,其特征在于,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中,使用上述抗蝕劑的剝離液進行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎。因此,本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下,稱為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定,例如,可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說明的是,鉀鹽中不含相當(dāng)于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外,本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒有特別限定,例如,推薦,更推薦,特別推薦。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類,例如,可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點,比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進行下一步。有時直接采用**+異丙醇的方式就可以去除。但是對于等離子體處理過的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把**加熱到60℃,雖然去膠效果快了一些,但是**沸點是60℃,揮發(fā)的特別快,而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險,因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。介紹常見的一款剝離液,該剝離液去膠效果好,但是對砷化鎵有輕微腐蝕,不易長時間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同,但基本上都要加熱。剝離液公司的聯(lián)系方式。
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅(qū)動電機與所述膠面收卷輥通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。本**技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠?qū)τ∷⑵纺z面進行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。附圖說明圖1是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的主視結(jié)構(gòu)簡圖;圖2是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的電氣控制箱外觀結(jié)構(gòu)簡圖;圖3是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的表面印刷結(jié)構(gòu)主視結(jié)構(gòu)簡圖;圖4是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的膠面剝離結(jié)構(gòu)主視結(jié)構(gòu)簡圖。附圖標(biāo)記說明如下:1、主支撐架;2、橫向支架;3、伺服變頻電機;4、電機減速箱;5、印刷品傳送帶;6、印刷品放置箱;7、表面印刷結(jié)構(gòu)。哪家的剝離液的價格低?江蘇什么剝離液銷售廠家
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按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化 學(xué)品。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使 用的液體化學(xué)品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類 包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配 類化學(xué)品,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,加入 水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液、顯影液、蝕 刻液、清洗液等。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,是混合物,它的理 化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測,只能通過應(yīng)用手段來評價其有效性。安徽配方剝離液
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司正式組建于1999-10-25,將通過提供以高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。是具有一定實力的精細(xì)化學(xué)品企業(yè)之一,主要提供高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等領(lǐng)域內(nèi)的產(chǎn)品或服務(wù)。同時,企業(yè)針對用戶,在高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等幾大領(lǐng)域,提供更多、更豐富的精細(xì)化學(xué)品產(chǎn)品,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的精細(xì)化學(xué)品服務(wù)。公司坐落于高新區(qū)華橋路155號,業(yè)務(wù)覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟、社會協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。