我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達(dá)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營造理想溫場(chǎng)，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面，8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí)，助力長時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。設(shè)備采用EC風(fēng)機(jī)，運(yùn)行時(shí)更加靜音，高效。四川高精密恒溫恒濕

原子力顯微鏡，堪稱納米尺度下微觀世界探索的一把利刃，在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等前沿領(lǐng)域發(fā)揮著無可替代的重要作用。它能夠?qū)ξ⒂^形貌進(jìn)行觀測(cè)，并細(xì)致地測(cè)量力學(xué)性能，為科研工作者打開了通往微觀世界的大門。然而，這一精密儀器對(duì)環(huán)境條件極為敏感。即便是極其微小的溫度波動(dòng)，哪怕只有零點(diǎn)幾攝氏度的變化，都會(huì)對(duì)其關(guān)鍵部件 一一 微懸臂產(chǎn)生影響。微懸臂會(huì)因熱脹冷縮效應(yīng)，改變自身的共振頻率與彈性系數(shù)，使得測(cè)量力與位移的精度大幅下降，難以探測(cè)樣品表面的原子級(jí)細(xì)微起伏。在濕度方面，高濕度環(huán)境同樣是個(gè)棘手的難題。此時(shí)，水汽極易在針尖與樣品之間悄然凝結(jié)，額外增加的毛細(xì)作用力，會(huì)嚴(yán)重干擾測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。不僅如此，水汽長期作用還可能腐蝕微懸臂，極大地縮短儀器的使用壽命，給科研工作帶來諸多阻礙。山東電子顯微鏡恒溫恒濕系統(tǒng)記錄運(yùn)行信息，無論是日常運(yùn)行還是突發(fā)故障，查詢檢索都能定位所需。

在電子設(shè)備的顯示屏制造過程中，溫濕度的穩(wěn)定控制也不可或缺。顯示屏的液晶材料對(duì)溫度變化非常敏感，溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致液晶分子排列紊亂，影響顯示屏的顯示效果，出現(xiàn)色彩不均、亮度不一致等問題。濕度方面，過高的濕度可能使顯示屏內(nèi)部的電子元件受潮，引發(fā)短路故障；過低的濕度則容易產(chǎn)生靜電，吸附灰塵，影響顯示屏的潔凈度。精密環(huán)控柜通過精確調(diào)節(jié)溫濕度，為顯示屏制造提供了理想的環(huán)境條件，確保生產(chǎn)出高質(zhì)量、高性能的顯示屏，滿足消費(fèi)者對(duì)電子設(shè)備顯示效果的高要求。

超高水準(zhǔn)潔凈度控制使精密環(huán)控柜在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著無可替代的作用。該系統(tǒng)可輕松實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度可優(yōu)于 ISO class3 (設(shè)備工作區(qū)) 。這一特性得益于其先進(jìn)的空氣過濾系統(tǒng)，多層高效過濾器能夠有效攔截空氣中的塵埃顆粒、微生物等污染物。在對(duì)潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，微小的塵埃顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)瑕疵，影響性能和良品率。精密環(huán)控柜提供的超潔凈環(huán)境，能極大降低塵埃對(duì)芯片制造過程的干擾，確保芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)。在生物制藥領(lǐng)域，藥品的生產(chǎn)過程必須保證無菌無塵，防止微生物污染。其超高的潔凈度控制能力，為藥品的研發(fā)和生產(chǎn)提供了符合標(biāo)準(zhǔn)的潔凈空間，保障了藥品的安全性和有效性。高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長期穩(wěn)定運(yùn)行離不開具有高精度傳感器的恒溫恒濕設(shè)備。

芯片蝕刻時(shí)，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。其控制系統(tǒng)精細(xì)處理循環(huán)氣流各環(huán)節(jié)，確保柜內(nèi)溫濕度的超高精度控制。江蘇電子顯微鏡恒溫恒濕

在超高水準(zhǔn)潔凈度控制下，該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)潔凈度，可優(yōu)于 ISO class3。四川高精密恒溫恒濕

在航天器電子元器件的制造和裝配過程中，精密環(huán)控柜的作用同樣關(guān)鍵。電子元器件對(duì)靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感。靜電可能會(huì)擊穿電子元件，導(dǎo)致其損壞；而不合適的溫濕度條件會(huì)影響電子元件的性能和可靠性。精密環(huán)控柜通過配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統(tǒng)，為電子元器件的生產(chǎn)提供了一個(gè)穩(wěn)定、潔凈且無靜電干擾的環(huán)境。這不僅保證了電子元器件在制造過程中的質(zhì)量，也提高了其在航天器復(fù)雜空間環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為我國航空航天事業(yè)的蓬勃發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。四川高精密恒溫恒濕