光聲光譜檢測(cè)是一種基于光聲效應(yīng)的無(wú)損檢測(cè)技術(shù)。當(dāng)調(diào)制的光照射到金屬材料表面時(shí)，材料吸收光能并轉(zhuǎn)化為熱能，引起材料表面及周圍介質(zhì)的溫度周期性變化，進(jìn)而產(chǎn)生聲波。通過(guò)檢測(cè)光聲信號(hào)的強(qiáng)度和頻率，可獲取材料的成分、結(jié)構(gòu)以及缺陷等信息。在金屬材料的涂層檢測(cè)中，光聲光譜可用于測(cè)量涂層的厚度、檢測(cè)涂層與基體之間的結(jié)合質(zhì)量以及涂層內(nèi)部的缺陷。在金屬材料的腐蝕檢測(cè)中，通過(guò)分析光聲信號(hào)的變化，可監(jiān)測(cè)腐蝕的發(fā)生和發(fā)展過(guò)程。光聲光譜檢測(cè)具有靈敏度高、檢測(cè)深度可調(diào)、對(duì)樣品無(wú)損傷等優(yōu)點(diǎn)，為金屬材料的質(zhì)量檢測(cè)和狀態(tài)監(jiān)測(cè)提供了一種新的有效手段。

隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等微小尺寸器件的發(fā)展，對(duì)金屬材料在微尺度下的力學(xué)性能評(píng)估需求日益增加。微尺度拉伸試驗(yàn)專門(mén)用于檢測(cè)微小樣品的力學(xué)性能。試驗(yàn)設(shè)備采用高精度的微力傳感器和位移測(cè)量裝置，能夠精確控制和測(cè)量微小樣品在拉伸過(guò)程中的力和位移變化。與宏觀拉伸試驗(yàn)不同，微尺度下金屬材料的力學(xué)行為會(huì)出現(xiàn)尺寸效應(yīng)，其強(qiáng)度、塑性等性能與宏觀材料有所差異。通過(guò)微尺度拉伸試驗(yàn)，可獲取微尺度下金屬材料的屈服強(qiáng)度、抗拉強(qiáng)度、延伸率等關(guān)鍵力學(xué)參數(shù)。這些參數(shù)對(duì)于 MEMS 器件的設(shè)計(jì)和制造至關(guān)重要，能確保金屬材料在微小尺度下滿足器件的力學(xué)性能要求，提高微機(jī)電系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性，推動(dòng)微納制造技術(shù)的進(jìn)步。