輪廓儀產(chǎn)品概述：
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。材料表面輪廓儀優(yōu)惠價格
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）
輪廓儀在集成電路的應用：
封裝bump測量
視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…
器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界唯 一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大 大地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題
進口輪廓儀代理商NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進。
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例
測量種類
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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
?
基板A Trace 3D形貌和尺寸
?
基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
輪廓儀在集成電路的應用
封裝bump測量
視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…
器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界唯 一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大 大地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題
歡迎咨詢。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。
1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項
如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊；
數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；
實際演示一一講解；
如何做好備份和恢復備份資料；
當場演示各種報表的操作并進行操作解說；
數(shù)據(jù)庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失；
在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應在培訓結(jié)束后及時刪除這些資料。
備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍最 大可達10mm。高端輪廓儀價格
支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC。材料表面輪廓儀優(yōu)惠價格
1.3. 培訓計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個全 面的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點；
向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；
對學員提出的問題進行詳細解答；
材料表面輪廓儀優(yōu)惠價格
岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心，為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術(shù)服務始終關(guān)注自身，在風云變化的時代，對自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務在行業(yè)的從容而自信。