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半導體設備隔振臺自動化測量

來源: 發(fā)布時間:2020-04-24

TS-C

TS-C系列是緊湊的動態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式。

這些價格適中的動態(tài)振動隔離系統(tǒng)在體積上卻比最 大,最昂貴的無源系統(tǒng)更好地實現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。


該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。


該系統(tǒng)的設計即使在低至2-3

Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。半導體設備隔振臺自動化測量

AVI 200-XL

AVI 200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元,最 大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數(shù)量,可以輕松承受更大的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個元件。

AVI 200-XL的隔離始于1,2 Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程。 輪廓測量隔振臺有誰在用垂直方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,最 大可以達到40dB的衰減。

TS-150支撐面測試:

盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運行,但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。

您可以通過觀察診斷信號來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時推動支持。 此測試應禁用隔離。 如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向?qū)χ蔚耐苿印?現(xiàn)在嘗試點擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。 通常,支架會對水平龍頭產(chǎn)生更強烈的反應而不是垂直的。 一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,并且隔離將

在這些頻率上受到嚴重影響。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。


TS-140

TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術特點與優(yōu)雅且對用戶友好的設計

這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。


TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術特點與優(yōu)雅且用戶友好的設計

TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在最 佳工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140的高度僅為84毫米

TS 140的重量僅為28.5千克 簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。

Herz 防震臺/防振臺是世界上最知名的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應商之一。 在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到最 佳成果。 Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術,消除振動尤為重要!

在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術有了很大的進步,一些最靈敏的設備會受被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此,HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。 勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。晶片隔振臺供應商

AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果。半導體設備隔振臺自動化測量

把手輕輕地放在桌面上??赡軙幸粋€或多個LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力,所有過載指示燈都將亮起,隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表示系統(tǒng)在過載解除(待機模式)之前暫時不再隔離。卸下過載后,隔離燈應再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段,系統(tǒng)也在隔離,但增益降低。嚴重過載后,系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。半導體設備隔振臺自動化測量

岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)高品質(zhì)管理的追求。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表行業(yè)。滿足市場需求,提高產(chǎn)品價值,是我們前行的力量。

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