輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。
白光輪廓儀的典型應用:
對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,大 大提高加工效率。晶圓片輪廓儀值得買
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡) NanoScopy輪廓儀當?shù)貎r格白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例
測量種類
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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
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基板A Sold Mask粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
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基板A Trace 3D形貌和尺寸
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基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有最直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更全 面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較全 面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。
輪廓儀的培訓
一、 培訓承諾
系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免費培訓和技術(shù)資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場;
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);
1.1. 培訓對象
系統(tǒng)操作及管理人員(培訓對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員);
其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。
1.2. 培訓內(nèi)容
系統(tǒng)操作使用說明書。
培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:
* 系統(tǒng)文檔解讀;
* 系統(tǒng)的技術(shù)特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式;
* 系統(tǒng)一般故障排除。
傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).安徽輪廓儀供應商
輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。晶圓片輪廓儀值得買
我們應該如何正確使用輪廓儀?
一、準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
二、測量
1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。
5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標出結(jié)果,并保存、打印。
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岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)?,為客戶提供高品質(zhì)的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術(shù)服務創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。