AVI-600 / LP的每個單元均可調節(jié)，以適應0至600kg的負載。 對于任何設置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負載，可在+/- 90kg之間變化，而不必重設調整。

首 次操作系統(tǒng)時，請將前面板隔離開關設置為OFF（黑色旋出）。 接通電源。 電源指示燈現(xiàn)在將點亮，并且24個顯示LED將短暫閃爍。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上，則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后，您可以將隔離開關推到ON位置（紅色旋鈕進入）。黃色LED現(xiàn)在將永 久保持亮起，表明系統(tǒng)處于隔離。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。晶圓隔振臺出廠價

TS-140+40技術指標：

頻率                   負載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離：

動態(tài)0.7Hz至1kHz無源（超過1kHz）

傳遞率：

參見附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矯正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

最 大負載：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40結合了久經(jīng)考驗的技術卓 越性與優(yōu)雅且用戶友好的設計

這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。

輪廓測量隔振臺供應商家AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最 大負載為800公斤。

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點很重要取向！LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。

為確保連接正確，請按照下列步驟操作：

面向LFS傳感器的藍色LED站立。 將第 一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。

所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器

設置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動?，F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內的振動太嚴重。 首 次使用AVI系統(tǒng)時，將前面板隔離開關設置為關閉（黑色旋鈕熄滅）。

首 次使用AVI系統(tǒng)時，將前面板隔離開關設置為關閉（黑色旋鈕熄滅）。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮，16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動或把手放在桌面上，部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后，您可以將隔離開關推到打開位置（黑色旋鈕進入）。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起，表示系統(tǒng)正在隔離。

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。 必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達到最 佳成果。防震臺隔振臺大型半導體設備防震臺應用

安裝好后參數(shù)不需要調整。晶圓隔振臺出廠價

地板上沒有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標為頻率，縱坐標為加速度）

加上AVI產(chǎn)品開啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標為頻率，縱坐標為加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。

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