測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行,真空計使用完畢應(yīng)立即回復橫臥狀態(tài),橫臥過程中可能出現(xiàn)小?;瘜W物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處,可將壓力計略為倒轉(zhuǎn)收回化學物質(zhì)珠。運輸和使用不慎會導致化學物質(zhì)珠進入并粘附于中間玻璃毛細管,可用機械真空泵對真空計抽氣,并往復擺動真空計,使化學物質(zhì)珠回流。仍未見效,則可在抽氣同時對化學物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱,利用空氣受熱膨脹使化學物質(zhì)珠回流。麥氏真空計使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊,先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵,以防真空泵內(nèi)的油進入真空計和真空系統(tǒng)。要保持化學物質(zhì)的純度,化學物質(zhì)受污染會影響測量的精度。麥氏真空計短期內(nèi)不使用,可用鐵扎頭扎緊橡皮管,用紗布拭去橡皮管的油脂,再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng),置于干燥、通風、避光處保存。真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。府谷縣智能型真空計售價
電阻真空計系利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導熱量有關(guān)的原理制造作而成的,電阻真空計屬于相對真空計的范疇。電阻真空計的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強、使用方便(可用導線進行遠距離測量)。缺點在于即電阻真空計的測量值與被測量氣體種類有關(guān),這是因為電阻真空計出廠時大多是利用空氣標定的,由于離子滲氮爐中氫的存在,氫的熱導率與氮、空氣等的熱導率相比相差太大,故所測真空度值誤差較大。但由于該類真空計實用方便、讀數(shù)直觀,勇于測量爐體的極限真空度和壓升率準確可靠,因而仍然是我國大多數(shù)企業(yè)的一個選擇產(chǎn)品。紹興電阻真空計哪家好電阻真空計配用的傳感器抗沾污、抗氧化、結(jié)實、不怕氣流沖擊與振動。
真空計是應(yīng)用真空中熱傳導與真空度有關(guān)的原理測量真空。適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用戶訂購時選擇)金屬熱偶規(guī)管,在機械泵測試、真空冶煉、真空浸漬、空調(diào)冰箱線等工業(yè)和科研有廣泛應(yīng)用。真空計按測量性質(zhì)可分為對的真空計和相對真空計。所謂對的真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如U型壓力計、壓縮式真空計就是對的真空計。真空計短期內(nèi)不使用,可用鐵扎頭扎緊橡皮管,用紗布拭去橡皮管的油脂,再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng),置于干燥、通風、避光處保存。
我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。電阻真空計在實際使用中,需要采取各種補償法來克服環(huán)境溫度的影響。
熱導式真空計測量值跟氣體成分有關(guān),在相同的真空壓力條件下,水蒸氣的熱導率是氮氣的1.6倍,因此在一次干燥過程當中,電阻真空計測得值比電容真空計測得值高約為60%。在接近一次升華干燥終點時,凍干箱內(nèi)部水蒸氣逐漸減少,不凝性氣體(以氮氣為主)逐漸增多,因此電阻真空計測得壓力值隨著一次干燥過程的進行,逐漸在減小。當電阻真空計測得值與電容真空計測得值接近時可以判斷一次干燥過程結(jié)束。但是由于電阻真空計自身存在的一些性能缺點,限制了該方法的使用。電阻真空計易出現(xiàn)老化現(xiàn)象,使其性能降低;電阻真空計有較大的熱慣性,壓強改變時,其讀數(shù)會滯后一些時間;其受外界溫度的影響較大,必須安裝于不易受輻射或?qū)α鳠嵊绊懙牡胤?。熱導式電阻真空計測量值跟氣體成分有關(guān)。東營電阻型真空計
真空計垂直放置在大氣時壓強讀數(shù)較小,水平放置在大氣時,壓強讀數(shù)較大。府谷縣智能型真空計售價
測量真空度時(A)以旋轉(zhuǎn)手輪進行測量時,從真空計上方看手輪,順時針旋轉(zhuǎn)的是提升化學物質(zhì),旋轉(zhuǎn)進度必須緩慢,當抽氣管(也稱比較管)中汞面升到SET設(shè)定處,再看右側(cè)測量管中的汞面位置,其相對應(yīng)的讀數(shù),即為系統(tǒng)的真空度,(B)以杠桿式測量的,左手按住平衡桿,右手將杠桿扳出并向下勻速掀下,讓抽氣管中汞面升至SET設(shè)定處,(在極限真空時,汞面升到SET設(shè)定處時,杠桿會自動地停留在這個位置),再看右側(cè)真空度數(shù)。(C)對于PM-6型真空計的讀數(shù),低真空的測量方式與A,B兩種一樣,左側(cè)粗真空的測量方法是讓右側(cè)測量管中的汞面升到測量管下端的“0”位線,然后再看左側(cè)比較管中的汞面所對應(yīng)的讀數(shù),即為系統(tǒng)的粗真空度。府谷縣智能型真空計售價
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