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來源: 發(fā)布時間:2022-04-07

真空計是基于皮拉尼真空計的熱傳導原理設計,配備集成的繼電器輸出,適合工藝控制。還帶有LED環(huán),可顯示真空計的狀態(tài)。真空計的可靠性高,操作簡単,測量結果重復性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點,安裝簡單并且節(jié)省成本和空間。真空計間接壓力測量是通過測量氣體與壓力有關的性質(zhì)(例如熱導率、電離概率)進行間接測量的,因此間接壓力測量的結果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù),對于其它氣體,可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。真空泵用真空計還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應用。皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。濰坊智能型真空表廠家推薦

壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進,它是依據(jù)理想氣體的波義耳定律制成的。由于它首先是由麥克勞提出的,故此種真空計又稱為麥克勞真空計(簡稱麥氏計)。壓縮式真空計是測量壓力低于1Pa實用的對的真空計,并且從1874年至今仍做為校準其它真空計的主要儀器。測量前將壓縮式真空計的導管與被測系統(tǒng)相連接,由于系統(tǒng)內(nèi)壓力各處相等,所以玻璃泡和測量毛細管內(nèi)的壓力與待測系統(tǒng)內(nèi)的壓力p相等。在刻度過程中,h1可選其等于任意值,選定一個值(一條基準線)就可有一對應的刻度尺,因此,同一臺壓縮式真空計可同時選定幾個h1值,就可有對應的幾個不同的刻度尺。麗水電阻型真空計實用的電阻真空計測量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。

我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。

真空鍍膜設備真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從105Pa—10-5Pa各真空區(qū)域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此,一個配置齊全的真空計,不單能進行真空度測量、數(shù)字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發(fā)出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調(diào)節(jié),還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯(lián)系,甚至還能進行遠距離真空測量與控制。電阻真空計由電阻規(guī)管和測量儀表單元組成。

眾所周知,真空計具有簡單、經(jīng)濟、使用方便等特點,在中真空以至低真空測量中都占有重要的地位。然而,我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡單,但由于絲細而長比較脆弱,經(jīng)不起振動和氣流沖擊,同時絲表面對污染較為敏感,即使采用白金絲或鍍金鎢絲,穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計屬熱導真空計,產(chǎn)生于1906年,但只是在40年代解決了細絲焊接問題之后,它才得到實際應用。由于它相對皮氏計而言,更為簡單、可靠,在許多地方代替了皮氏計。不過,迄今為止,商售熱偶真空計單限于定流式一種,一般測盆上限單為100Pa。電阻真空計,基于定溫和對流原理,采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件,成功地把測量上限擴展至大氣壓,并彌補了皮氏計的不足之處,為熱導真空計的廣泛應用開拓了新的前景。隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關鍵元器件。煙臺ZDJ-8型真空表批發(fā)價格

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在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學物質(zhì)流失用的,請在真空計安置之后,與真空系統(tǒng)相連時再作抽出(請別丟棄,以后送維修時,還需塞緊后寄回)。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計,采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度,采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上(杠桿式的在左側還配有一根平衡桿),選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面,安置好真空計。當測量完畢后,應及時的關閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門,將手輪退到擰不動為止,把杠桿退還到起始位置即可。濰坊智能型真空表廠家推薦

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