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真空計是基于皮拉尼真空計的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計,配備集成的繼電器輸出,適合工藝控制。還帶有LED環(huán),可顯示真空計的狀態(tài)。真空計的可靠性高,操作簡単,測量結(jié)果重復(fù)性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點,安裝簡單并且節(jié)省成本和空間。真空計間接壓力測量是通過測量氣體與壓力有關(guān)的性質(zhì)(例如熱導(dǎo)率、電離概率)進行間接測量的,因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù),對于其它氣體,可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。真空泵用真空計還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。在數(shù)字真空計的使用過程中,影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。德州數(shù)字電阻真空表廠家推薦
隔膜真空計讀數(shù)是什么意思?這是經(jīng)常被問到的問題,本文就做一個系統(tǒng)的解釋。真空行業(yè)常用2種顯示方式來表征真空度數(shù)據(jù),一種叫做科學(xué)記數(shù)法,比如2.3E03,表示2300,另一種則是常規(guī)直讀法??茖W(xué)記數(shù)法讀數(shù)因為表征真空度的壓力數(shù)據(jù)通常會在很大的范圍內(nèi)波動,而表征大數(shù)據(jù)較好的一種方法就是所謂的科學(xué)記數(shù)法,即把一個數(shù)表示成aEn(1≤a<10,n為整數(shù))與10的冪相乘的形式,這種記數(shù)法叫做科學(xué)記數(shù)法。當(dāng)我們要標記或運算某個較大或較小且位數(shù)較多時,用科學(xué)記數(shù)法免去浪費很多空間和時間。所以之前看到2.3E03轉(zhuǎn)換成可讀的數(shù)據(jù)方法就是2.3*10^3=2.3*1000=2300。重慶壓敏真空計報價電阻真空計有較大的熱慣性,壓強改變時,其讀數(shù)會滯后一些時間。
本實用新型公開了一種電阻真空計校準電路,包括真空傳感器,A/D采集芯片和單片機;真空傳感器輸出的電信號經(jīng)A/D采集芯片進行模數(shù)轉(zhuǎn)換后上傳至單片機,還包括LCD顯示屏,所述LCD顯示屏與單片機的I/O口通信連接,所述單片機的I/O口還分別連接一個觸發(fā)按鍵。本實用新型電阻真空計校準電路通過記錄傳感器的輸入電壓,據(jù)此計算出此輸入電壓與標準電壓(0和5V)的對應(yīng)關(guān)系,從而達到對傳感器進行標準的目的,也克服了傳統(tǒng)方案易受人為因素和環(huán)境溫度影響的缺點。
運輸及使用時必須嚴防倒置平臥,以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細管內(nèi)堵塞毛細管,影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理,有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度,應(yīng)及時送往修理,經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔,也能避免真空計被取下分離時,大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下,應(yīng)在機械真空泵停止后,一定要將機械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開,并將機械泵內(nèi)放入大氣以免機械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計受到油的污染。電阻真空計系是利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制造作而成的。
我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。真空計安裝簡單并且可以節(jié)省成本和空間。舟山指針式真空表廠家
電阻真空計在實際使用中,需要采取各種補償法來克服環(huán)境溫度的影響。德州數(shù)字電阻真空表廠家推薦
測量真空度時(A)以旋轉(zhuǎn)手輪進行測量時,從真空計上方看手輪,順時針旋轉(zhuǎn)的是提升化學(xué)物質(zhì),旋轉(zhuǎn)進度必須緩慢,當(dāng)抽氣管(也稱比較管)中汞面升到SET設(shè)定處,再看右側(cè)測量管中的汞面位置,其相對應(yīng)的讀數(shù),即為系統(tǒng)的真空度,(B)以杠桿式測量的,左手按住平衡桿,右手將杠桿扳出并向下勻速掀下,讓抽氣管中汞面升至SET設(shè)定處,(在極限真空時,汞面升到SET設(shè)定處時,杠桿會自動地停留在這個位置),再看右側(cè)真空度數(shù)。(C)對于PM-6型真空計的讀數(shù),低真空的測量方式與A,B兩種一樣,左側(cè)粗真空的測量方法是讓右側(cè)測量管中的汞面升到測量管下端的“0”位線,然后再看左側(cè)比較管中的汞面所對應(yīng)的讀數(shù),即為系統(tǒng)的粗真空度。德州數(shù)字電阻真空表廠家推薦
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