定溫型電阻真空計工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時，將電橋調于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當壓力增高時，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。濟南智能型真空計廠家推薦

皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成，用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。儀器采用微處理機完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償功能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術，提高了測量精度及抗干擾能力，特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺真空計均設置有兩組繼電器輸出接口，用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設定，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可工作。本機線路設計合理，制作工藝考究，采用了整板設計，波峰焊接。其軟件編排獨特，算法先進，使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。濟南智能型真空計廠家推薦真空計按測量性質可分為真空計和相對真空計。

各項指標全符合JJG236-2009 《活塞式壓力真空計〉家計量檢定規(guī)程，運用我廠50年中間技術推出的壓力計。兩個被檢表接頭處設計有兩個截止閥，截止閥能及時關閉被檢系統(tǒng)之間的壓力。由于活塞式真空壓力計在加減砝碼時，必須減壓將活塞降下來，而被檢精密壓力表、壓力變送器、傳感器等和系統(tǒng)之間若不能被截止，表中的壓力會隨著活塞升降而升降，則考核不出被檢表的回程誤差，就不能符合精密壓力表、壓力變送器、壓力傳感器等檢定規(guī)程的要求和耐壓檢定的要求。

測量時壓力計旋轉至直立狀應緩慢進行，真空計使用完畢應立即回復橫臥狀態(tài)，橫臥過程中可能出現(xiàn)小?；瘜W物質珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計略為倒轉收回化學物質珠。運輸和使用不慎會導致化學物質珠進入并粘附于中間玻璃毛細管，可用機械真空泵對真空計抽氣，并往復擺動真空計，使化學物質珠回流。仍未見效，則可在抽氣同時對化學物質珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學物質珠回流。麥氏真空計使用完畢應將橡皮管扎緊，先關閉真空閥再關閉真空泵，以防真空泵內的油進入真空計和真空系統(tǒng)。當氣體分子平均自由程大于容器的線度時，電阻真空計的熱傳導系數(shù)正比于壓強。

電阻真空計也稱熱電阻真空計或皮拉尼真空計，由電阻規(guī)管和測量儀表單元組成?，F(xiàn)以定溫式電阻真空計為例說明其測量原理。所謂定溫式就是利用加熱電源的自動補償功能，在測量過程中保持熱絲溫度不變，也就恒定了熱絲的電阻。在電阻規(guī)管里有一個電阻隨溫度變化的熱絲，給熱絲通電發(fā)熱，若爐內氣體較多，氣體壓力P就大，氣體分子從熱絲上傳走的熱量就多，熱絲溫度降低，熱絲電阻也就隨之減小，若取熱絲兩端電壓V或流過熱絲的電流I值作為補償參數(shù)，加熱電源系統(tǒng)會啟動補償功能，自動提高加熱電壓或電流，使其熱絲溫度保持不變，即恒定了熱絲的電阻值。利用在一定溫度下，補償電壓V或電流I與氣體壓強P的函數(shù)關系，就可計算出氣體壓強(真空度)。壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進，它是依據(jù)理想氣體的波義耳定律制成的。西安電阻真空計報價

電阻真空計在實際使用中，需要采取各種補償法來克服環(huán)境溫度的影響。濟南智能型真空計廠家推薦

我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。濟南智能型真空計廠家推薦

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