我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。當氣體分子平均自由程大于容器的線度時，電阻真空計的熱傳導系數(shù)正比于壓強。紹興壓敏真空表多少錢

真空計是應(yīng)用真空中熱傳導與真空度有關(guān)的原理測量真空。適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測量和控制，采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式（由用戶訂購時選擇）金屬熱偶規(guī)管，在機械泵測試、真空冶煉、真空浸漬、空調(diào)冰箱線等工業(yè)和科研有廣泛應(yīng)用。真空計按測量性質(zhì)可分為對的真空計和相對真空計。所謂對的真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計，例如U型壓力計、壓縮式真空計就是對的真空計。真空計短期內(nèi)不使用，可用鐵扎頭扎緊橡皮管，用紗布拭去橡皮管的油脂，再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng)，置于干燥、通風、避光處保存。重慶電阻型真空表批發(fā)在數(shù)字真空計的使用過程中，影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。

測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行，真空計使用完畢應(yīng)立即回復橫臥狀態(tài)，橫臥過程中可能出現(xiàn)小?；瘜W物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計略為倒轉(zhuǎn)收回化學物質(zhì)珠。運輸和使用不慎會導致化學物質(zhì)珠進入并粘附于中間玻璃毛細管，可用機械真空泵對真空計抽氣，并往復擺動真空計，使化學物質(zhì)珠回流。仍未見效，則可在抽氣同時對化學物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學物質(zhì)珠回流。麥氏真空計使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進入真空計和真空系統(tǒng)。

定溫型電阻真空計工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當壓力增高時，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。皮拉尼真空計測得壓力值隨著一次干燥過程的進行，逐漸在減小。

真空計是基于皮拉尼真空計的熱傳導原理設(shè)計，配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。還帶有LED環(huán)，可顯示真空計的狀態(tài)。真空計的可靠性高，操作簡単，測量結(jié)果重復性好，可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點，安裝簡單并且節(jié)省成本和空間。真空計間接壓力測量是通過測量氣體與壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導率、電離概率）進行間接測量的，因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù)，對于其它氣體，可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。真空泵用真空計還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。熱導式電阻真空計測量值跟氣體成分有關(guān)。麗水電阻型真空表廠家

隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。紹興壓敏真空表多少錢

PM-5型掛壁式麥氏真空計使用方法：1、在開箱安裝之前，請勿隨意旋轉(zhuǎn)底部的手輪或撳壓杠桿，以免造成化學物質(zhì)的流出，始終保持直立的姿勢。2、采用支撐式或杠桿式的真空計，請將三根支撐桿擰上，選擇一個合適的臺面，按置真空計，若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定，安裝時必須保持真空計與水平面的垂直度。3、對于掛壁式真空計，由于其整機在固定后不能晃動造成壓縮腔內(nèi)的殘余氣體被化學物質(zhì)壓迫而抽不干凈，故在真空計作固定前須用一臺極限真空能抽至0.1Pa以上的真空泵對真空計進行單獨抽氣,邊抽邊進行測量,待真空計顯示出真空度在5Pa以上后,再關(guān)閉真空泵,然后將直立姿勢的真空計固定起來,對于支撐形式的真空計,抽一下高真空,再投入到測量工作中去。　　紹興壓敏真空表多少錢

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