熱偶真空計(jì)的校準(zhǔn)：現(xiàn)如今，真空在我們?nèi)粘Ｉ钪斜粦?yīng)用于產(chǎn)品的生產(chǎn)及制造業(yè)，并且扮演著重要的角色。例如：在科研中，工業(yè)流程，手機(jī)芯片，硬盤(pán)，太陽(yáng)能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領(lǐng)域。在當(dāng)今的生產(chǎn)活動(dòng)中，我們對(duì)真空度測(cè)量的精確性、標(biāo)準(zhǔn)化、可靠性和重復(fù)性的要求是至關(guān)重要的。當(dāng)我們?cè)谶M(jìn)行測(cè)量的時(shí)候，高度又是關(guān)鍵中的關(guān)鍵：我們知道的精度的高低會(huì)直接影響產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，科學(xué)實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性和設(shè)備使用的可靠性。我們知道的真空計(jì)測(cè)量：氣體的稀薄程度也可以用氣體分子密度（單位容積中氣體分子數(shù)）n來(lái)描述。對(duì)于完全平衡態(tài)的理想氣體分子,P=nkT,k為玻耳茲曼常數(shù),T為溫度。測(cè)量真空度的裝置稱為真空計(jì)，真空計(jì)的壓強(qiáng)敏感元件稱為規(guī)頭。某些真空計(jì)可直接測(cè)量氣體總壓強(qiáng)，某些真空計(jì)雖然也給出壓強(qiáng)讀數(shù)，而實(shí)際測(cè)量的是氣體分子密度，測(cè)量的結(jié)果與環(huán)境的溫度有關(guān)。當(dāng)容器中同時(shí)存在多種氣體成分的時(shí)候，容器中氣體總壓強(qiáng)等于各氣體分壓強(qiáng)之和。熱偶真空計(jì)的薄膜電容規(guī)使用的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。東營(yíng)數(shù)顯式熱偶真空計(jì)廠家推薦

我們知道的熱偶真空計(jì)的皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)：由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0。1Pa至1000Pa。由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。東營(yíng)數(shù)顯式熱偶真空計(jì)廠家推薦熱偶真空計(jì)的故障與維修：線路板插件、規(guī)管管座或電纜接頭等接觸不良，維修方法檢修絕緣部分。

真空計(jì)分類(lèi)：(1)放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般單能作為定性測(cè)量。(2)粘滯真空計(jì)：利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。(3)場(chǎng)致顯微儀：以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。(4)分壓力真空計(jì)：利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜。如：熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。

熱偶真空計(jì)熱陰極電離規(guī)：這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1。0E-05Pa至0。1Pa。經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測(cè)量下限降低至1。0E-09Pa。由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。冷陰極電離規(guī)：冷陰極電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)壓測(cè)量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1。0E-07Pa至0。1Pa。與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定。熱偶真空計(jì)須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件使用，消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。

屬于真空計(jì)有：(1)壓縮式真空計(jì)：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測(cè)壓力的氣體，經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計(jì)測(cè)量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。(2)熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。(3)熱輻射真空計(jì)：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。(4)電離真空計(jì)：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。熱電偶真空計(jì)測(cè)得細(xì)線溫度同時(shí),也會(huì)受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。東營(yíng)數(shù)顯式熱偶真空計(jì)廠家推薦

熱偶真空計(jì)利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計(jì)的原理。東營(yíng)數(shù)顯式熱偶真空計(jì)廠家推薦

真空計(jì)測(cè)量：總壓強(qiáng)測(cè)量方法可分為直接法和間接法兩種。直接法利用液柱差、機(jī)械變形等原理直接測(cè)量壓強(qiáng)，包括液位壓強(qiáng)計(jì)、壓縮式真空計(jì)、彈性元件真空計(jì)等。根據(jù)前兩種儀器測(cè)出的物理量可算出壓強(qiáng)值，屬于真空計(jì)。間接法利用氣體某些物理性質(zhì)（如熱傳導(dǎo)、粘滯性、電離及光散射效應(yīng)等）來(lái)測(cè)量壓強(qiáng)，包括熱傳導(dǎo)真空計(jì)、粘滯真空計(jì)及電離真空計(jì)等。在真空技術(shù)中使用的真空計(jì)絕大多數(shù)采用間接法，這些真空計(jì)必須用真空計(jì)或其他方法校準(zhǔn)。東營(yíng)數(shù)顯式熱偶真空計(jì)廠家推薦

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