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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-01-14

探針臺市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺、測試機(jī)、分選機(jī)等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導(dǎo)體市場飛速增長。在全球貿(mào)易摩擦背景下,半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化率提高成為必然趨勢,國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上。浙江智能探針臺多少錢

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半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。浙江智能探針臺多少錢上海勤確科技有限公司本上海勤確科技有限公司經(jīng)營理念,將心比心,誠信經(jīng)營,質(zhì)量為先。

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手動探針臺規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,移動范圍為150mmor200mm,移動精度為1μm載物臺具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。

錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品。鎢作為一種硬度強(qiáng)、耐高溫的金屬材料,常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測針等等,但鎢本身存在易脆和可塑性低的問題,這減小了其使用過程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性,傳統(tǒng)的方法通過在鎢內(nèi)添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能。在鎢內(nèi)添加錸,可以發(fā)生“錸塑化效應(yīng)”,增加鎢的可塑性。錸鎢合金具有高熔點(diǎn)、厲害度、高硬度、高塑性、高再結(jié)晶溫度、高電阻率,低蒸氣壓、低電子逸出功和低塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等一系列優(yōu)良性能。探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路。

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晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負(fù)責(zé)從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學(xué)器件,能夠以足夠的精度對準(zhǔn)晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對準(zhǔn)。探針材質(zhì)、探針直徑、光束長度、和尖錐長度都在決定頂端壓力時(shí)起重要的作用。山東手動探針臺報(bào)價(jià)

適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。浙江智能探針臺多少錢

以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件,多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。浙江智能探針臺多少錢

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