根據(jù)芯片制造的要求,潔凈車(chē)間通常需要達(dá)到至少百級(jí)(ISO5級(jí))以上的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。有些特殊的芯片制造過(guò)程甚至需要更高的潔凈度等級(jí)。為了達(dá)到這個(gè)目標(biāo),需要在施工前進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和規(guī)劃,并采用高質(zhì)量的材料和設(shè)備。潔凈車(chē)間的墻體和天花板需要采用不易產(chǎn)生塵埃的材料,并具有良好的密封性能。同時(shí),地面材料也要耐磨、防滑、易清潔,以保持車(chē)間的潔凈和衛(wèi)生。潔凈車(chē)間需要配備高效、穩(wěn)定的空調(diào)系統(tǒng),以保證室內(nèi)空氣的流通和溫度、濕度的控制。同時(shí),為了防止外界污染進(jìn)入車(chē)間,需要安裝空氣凈化器、過(guò)濾器等設(shè)備,確保車(chē)間的潔凈度和環(huán)境質(zhì)量。還需要考慮照明、安全、消防等方面的問(wèn)題。照明要充足,使得工作人員能夠清晰地看到工作內(nèi)容;安全方面需要考慮防靜電、防塵、防護(hù)等措施,確保工作人員的安全;消防方面則需要配備滅火器、消防栓等設(shè)備,以應(yīng)對(duì)突發(fā)情況。 合理設(shè)計(jì)電路布局,預(yù)留足夠插座與配電箱,設(shè)置單獨(dú)接地系統(tǒng),保障用電安全與設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。溧水區(qū)千級(jí)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)單位
定風(fēng)量系統(tǒng)控制在實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)中應(yīng)用較多。系統(tǒng)采用靜壓傳感自動(dòng)變頻控制(或PLC編程控制),能根據(jù)開(kāi)啟通風(fēng)設(shè)備的數(shù)量變化,將感應(yīng)到的靜壓轉(zhuǎn)變成0-10V的電信號(hào)輸入變頻器,從而自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)頻率。這樣風(fēng)機(jī)的抽風(fēng)量就能與實(shí)際所需排風(fēng)量相匹配,確保排風(fēng)效果,達(dá)到節(jié)能降噪的目的。每臺(tái)通風(fēng)柜安裝一個(gè)電子風(fēng)量調(diào)節(jié)閥,其控制開(kāi)關(guān)和變頻控制系統(tǒng)及風(fēng)機(jī)聯(lián)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或多臺(tái)通風(fēng)設(shè)備等不同工況下的控制。并且風(fēng)量調(diào)節(jié)閥具有記憶功能,方便下次使用時(shí)快速調(diào)整到合適角度。系統(tǒng)風(fēng)閥和風(fēng)機(jī)整體聯(lián)動(dòng),保證了氣流的有序流動(dòng),平衡系統(tǒng)風(fēng)量,防止氣流反串、倒流。變風(fēng)量系統(tǒng)(VAV)控制是隨著技術(shù)發(fā)展出現(xiàn)的先進(jìn)控制方式。系統(tǒng)同樣采用靜壓傳感自動(dòng)變頻控制,依據(jù)開(kāi)啟通風(fēng)設(shè)備的數(shù)量變化調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)頻率,使風(fēng)機(jī)抽風(fēng)量與實(shí)際排風(fēng)量匹配,確保排風(fēng)效果并節(jié)能降噪。每臺(tái)通風(fēng)柜安裝文丘里變風(fēng)量風(fēng)閥,與變頻控制系統(tǒng)及風(fēng)機(jī)聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)不同工況控制。變風(fēng)量調(diào)節(jié)閥門(mén)采用數(shù)顯可調(diào)角度且有記憶功能的文丘里風(fēng)閥。在一些對(duì)通風(fēng)要求較高且空間布局復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)室中,變風(fēng)量系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)明顯。 溧水區(qū)萬(wàn)級(jí)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備地面鋪設(shè)防滑、防靜電、耐腐蝕的 PVC 地板或環(huán)氧樹(shù)脂地坪,有效避免滑倒事故與設(shè)備靜電損壞。
模塊化設(shè)計(jì)是一種將潔凈實(shí)驗(yàn)室按照功能或空間劃分為若干個(gè)單獨(dú)的模塊,每個(gè)模塊具有特定的功能和結(jié)構(gòu),可根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行組合和調(diào)整的設(shè)計(jì)方法。這種設(shè)計(jì)方式具有很強(qiáng)的靈活性和可擴(kuò)展性,能夠適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室不斷變化的科研需求。例如,在實(shí)驗(yàn)室建設(shè)初期,可以根據(jù)當(dāng)前的研究方向和實(shí)驗(yàn)需求,選擇合適的模塊進(jìn)行組合,構(gòu)建滿足基本功能的實(shí)驗(yàn)室。隨著研究的深入和業(yè)務(wù)的拓展,需要增加新的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目或設(shè)備時(shí),可以通過(guò)增加相應(yīng)的模塊來(lái)實(shí)現(xiàn),而無(wú)需對(duì)整個(gè)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行大規(guī)模改造。模塊化設(shè)計(jì)還便于實(shí)驗(yàn)室的維護(hù)和管理,當(dāng)某個(gè)模塊出現(xiàn)故障時(shí),可以單獨(dú)對(duì)該模塊進(jìn)行維修或更換,不影響其他模塊的正常運(yùn)行。此外,模塊化設(shè)計(jì)可以提高施工效率,縮短建設(shè)周期,降低建設(shè)成本。在設(shè)計(jì)過(guò)程中,要確保各個(gè)模塊之間的接口標(biāo)準(zhǔn)化,保證模塊之間的連接緊密、可靠,不影響實(shí)驗(yàn)室的整體性能和潔凈度。
實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程完工后,嚴(yán)格的驗(yàn)收是確保工程質(zhì)量與安全的一道關(guān)卡。驗(yàn)收通常涵蓋多個(gè)方面:首先,檢查氣路安裝是否符合經(jīng)過(guò)批準(zhǔn)的設(shè)計(jì)文件要求,包括管道布局、管徑、氣體種類和壓力等是否與設(shè)計(jì)一致。其次,對(duì)所用管材、閥門(mén)、連接件等材料進(jìn)行質(zhì)量核查,要求具備合格證明,材質(zhì)應(yīng)耐腐蝕、耐高壓。接著,進(jìn)行管道連接的檢查,確保連接牢固、密封,無(wú)泄漏現(xiàn)象,焊接處應(yīng)平滑、無(wú)氣孔和夾渣,螺紋連接緊密無(wú)松動(dòng)。還要檢查支架與固定情況,管道支架設(shè)置應(yīng)合理,固定牢固,能承受管道的重量和振動(dòng),間距符合規(guī)范要求。此外,壓力測(cè)試、泄漏檢測(cè)、閥門(mén)操作靈活性檢查、清潔度檢查、安全裝置性能測(cè)試、通風(fēng)與排放系統(tǒng)功能測(cè)試以及系統(tǒng)穩(wěn)定性測(cè)試等都是驗(yàn)收的重要內(nèi)容。只有通過(guò)嚴(yán)格的驗(yàn)收,才能保證實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程投入使用后的安全與穩(wěn)定運(yùn)行。 設(shè)計(jì)合理的給排水系統(tǒng),排水管道采用耐腐蝕材料,確保污水排放順暢且不滲漏。
氣體管路施工過(guò)程中,有諸多要點(diǎn)需要嚴(yán)格把控。首先,所有不銹鋼管在運(yùn)輸和儲(chǔ)存時(shí),兩端需用塑料蓋密封,外側(cè)再用塑料套密封,進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)后,安裝前才拆除塑料蓋和塑料套,以防止管道內(nèi)部被污染。鋪設(shè)管道時(shí),要特別注意平直度,彎管處必須使用定制折彎?rùn)C(jī),嚴(yán)禁徒手彎曲;切斷管道應(yīng)使用定制切管機(jī),杜絕用鋸切斷,且切斷后要用定制工具處理斷口。管道線路每隔 1 米左右應(yīng)設(shè)置一組管夾,若遇特殊建筑結(jié)構(gòu),需根據(jù)實(shí)際情況靈活調(diào)整。當(dāng)管道穿過(guò)墻壁和地板時(shí),要設(shè)置管套,管套與管道之間的間隙用不可燃材料填充。所有螺紋連接部位都要用密封帶密封,確保連接處嚴(yán)密無(wú)泄漏。施工人員還需注意,在整個(gè)施工過(guò)程中,尤其是在空中作業(yè)(如在梯子或腳手架上施工)時(shí),必須派專人固定梯子或腳手架,保障施工安全。為實(shí)驗(yàn)室配備除濕設(shè)備,在潮濕季節(jié)調(diào)節(jié)室內(nèi)濕度,防止設(shè)備與試劑受潮損壞。連云港光學(xué)光電實(shí)驗(yàn)室建設(shè)單位
采用環(huán)保型裝修材料,減少有害氣體釋放,保障實(shí)驗(yàn)人員身體健康與實(shí)驗(yàn)環(huán)境安全。溧水區(qū)千級(jí)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)單位
實(shí)驗(yàn)室的給排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)要滿足實(shí)驗(yàn)用水需求,并確保排水安全環(huán)保。給水系統(tǒng)方面,要保證水壓和水質(zhì)符合實(shí)驗(yàn)要求。一些對(duì)水質(zhì)要求極高的實(shí)驗(yàn),如細(xì)胞培養(yǎng)、高精度分析實(shí)驗(yàn)等,需設(shè)置單獨(dú)純水系統(tǒng)。通過(guò)多級(jí)過(guò)濾、反滲透等技術(shù),去除水中雜質(zhì)、微生物、離子等,提供高純度水。同時(shí),在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)合理設(shè)置足夠數(shù)量的水龍頭和水槽,位置要方便實(shí)驗(yàn)人員操作,例如在實(shí)驗(yàn)臺(tái)附近、清洗區(qū)等設(shè)置,滿足實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的日常用水需求。排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)同樣重要,實(shí)驗(yàn)室排水系統(tǒng)應(yīng)與其他區(qū)域分開(kāi),防止實(shí)驗(yàn)廢水污染生活用水和環(huán)境。排水管道要選用耐酸堿腐蝕材料,如PVC管、PP管等,能承受實(shí)驗(yàn)廢水中化學(xué)物質(zhì)的侵蝕。排水坡度要合理,一般不小于-,確保排水順暢,避免積水。對(duì)于含有有害物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)廢水,如重金屬離子、有機(jī)污染物等,必須經(jīng)過(guò)處理達(dá)標(biāo)后才能排放??稍O(shè)置專門(mén)廢水處理裝置,采用化學(xué)沉淀、生物降解、吸附等方法,去除廢水中污染物,達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。 溧水區(qū)千級(jí)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)單位