利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。在測(cè)量軟件WAVE的FFT圖中，實(shí)時(shí)顯示位移數(shù)據(jù)，可快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行頻譜分析，以識(shí)別共振頻率。北京激光干涉儀色散共焦

測(cè)控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域

在基礎(chǔ)研究的初期，對(duì)于能否有突破性進(jìn)展是很難預(yù)測(cè)的。但是，當(dāng)已經(jīng)取得突破性進(jìn)展時(shí)，則需要有一個(gè)轉(zhuǎn)化機(jī)制以進(jìn)入市場(chǎng)。

（1）納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。

關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機(jī)構(gòu)上創(chuàng)新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測(cè)角系統(tǒng)(0.2″～0.5″)，通用信號(hào)處理系統(tǒng)(工作頻率5兆)，無導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測(cè)量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 山東激光干涉儀彩色共焦技術(shù)測(cè)試齒條齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)中，行星齒輪機(jī)械參數(shù)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

干涉儀主要特點(diǎn)

1.同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角2.設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長(zhǎng)的控制距離可到25米4.可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5.全套系統(tǒng)重量只15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間7、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有g(shù)ao qiang度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

升降變差

1 能耐受機(jī)械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進(jìn)行檢驗(yàn)的電磁系和鐵磁電動(dòng)系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過表的規(guī)定。

2 測(cè)定升降變差時(shí)，應(yīng)在極性不變(當(dāng)用直流檢驗(yàn)時(shí))和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺某一個(gè)分度線，讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)；然后再從另一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺的同一個(gè)分度線，再次讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測(cè)定升降變差，這時(shí)應(yīng)維持被測(cè)量之值不變。測(cè)定儀表升降變差時(shí)應(yīng)遵守規(guī)定，若被測(cè)之量連續(xù)可調(diào)，可與測(cè)定基本誤差一同進(jìn)行。 3軸：測(cè)量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運(yùn)動(dòng)yaw。

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。晶圓表面測(cè)量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測(cè)量。山東激光干涉儀彩色共焦技術(shù)

在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動(dòng)器的任何振蕩。北京激光干涉儀色散共焦

(6)半導(dǎo)體激光器計(jì)量特性的研究和創(chuàng)新。半導(dǎo)體激光器用于計(jì)量需要解決很多問題(如線寬、定標(biāo)、變頻等)。但如果解決了諸多問題以后，半導(dǎo)體激光系統(tǒng)比氣體激光系統(tǒng)更復(fù)雜，就不會(huì)有競(jìng)爭(zhēng)力。有些問題在物理層面上也沒有完全解決。例如半導(dǎo)體激光器如果能形成雙頻，無疑是一種十分重要的特性，如果既能掃頻又有兩個(gè)相近的頻率掃描，就會(huì)成為一種新的無導(dǎo)軌測(cè)量工具。本專業(yè)培養(yǎng)具備精密儀器設(shè)計(jì)制造以及測(cè)量與控制方面基礎(chǔ)知識(shí)與應(yīng)用能力，能在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各部門從事測(cè)量與控制領(lǐng)域內(nèi)有關(guān)技術(shù)、儀器與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造、科技開發(fā)、應(yīng)用研究、運(yùn)行管理等方面的高級(jí)工程技術(shù)人才。北京激光干涉儀色散共焦