諧振式氣敏傳感器不需要對器件進(jìn)行加熱，且輸出信號為頻率量，是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內(nèi)有較好的線性，濃度檢測極限達(dá)到1×10，當(dāng)工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到－0.099Hz/10的靈敏度。該類傳感器為正溫度系數(shù)傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。楊浦區(qū)常見傳感器性能

其中，電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點，是MEMS微加速度計中的主流產(chǎn)品。微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)，主要有振動式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用**多的屬于振動陀螺儀，它利用單晶硅或多晶硅的振動質(zhì)量塊在被基座帶動旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動是否到位，主動在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿右苑乐蛊嚸撾x車道，通常，它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。松江區(qū)標(biāo)準(zhǔn)傳感器聯(lián)系方式新型氮化鋁傳感器，可以在高達(dá)900℃的高溫下工作。

MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù)，即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù)，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當(dāng)大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的，它的制作工藝結(jié)合當(dāng)今先進(jìn)的IC微電子加工工藝和MEMS微機(jī)械加工制造工藝來實現(xiàn)，通過對材料的微機(jī)械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁、膜、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu))，從而實現(xiàn)對各種相關(guān)參數(shù)的感知、測試和轉(zhuǎn)換

24GHz雷達(dá)RFbeam 24GHz雷達(dá)傳感器24GHz雷達(dá)傳感器采用高頻微波來測量物體運(yùn)動速度、距離、運(yùn)動方向、方位角度信息，采用平面微帶天線設(shè)計，具有體積小、質(zhì)量輕、靈敏度高、穩(wěn)定強(qiáng)等特點，***運(yùn)用于智能交通、工業(yè)控制、安防、體育運(yùn)動、智能家居等行業(yè)。工業(yè)和信息化部2012年11月19日正式發(fā)布了《工業(yè)和信息化部關(guān)于發(fā)布24GHz頻段短距離車載雷達(dá)設(shè)備使用頻率的通知》（工信部無〔2012〕548號），明確提出24GHz頻段短距離車載雷達(dá)設(shè)備作為車載雷達(dá)設(shè)備的規(guī)范。人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息，必須借助于感覺。

一體化溫度一體化溫度傳感器一般由測溫探頭（熱電偶或熱電阻傳感器）和兩線制固體電子單元組成。采用固體模塊形式將測溫探頭直接安裝在接線盒內(nèi)，從而形成一體化的傳感器。一體化溫度傳感器一般分為熱電阻和熱電偶型兩種類型。熱電阻溫度傳感器是由基準(zhǔn)單元、R/V轉(zhuǎn)換單元、線性電路、反接保護(hù)、限流保護(hù)、V/I轉(zhuǎn)換單元等組成。測溫?zé)犭娮栊盘栟D(zhuǎn)換放大后，再由線性電路對溫度與電阻的非線性關(guān)系進(jìn)行補(bǔ)償，經(jīng)V/I轉(zhuǎn)換電路后輸出一個與被測溫度成線性關(guān)系的4～20mA的恒流信號。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時，各電阻值將發(fā)生變化，電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。松江區(qū)智能傳感器品牌

轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉(zhuǎn)換為電信號；楊浦區(qū)常見傳感器性能

在生產(chǎn)過程中，位移的測量一般分為測量實物尺寸和機(jī)械位移兩種。機(jī)械位移包括線位移和角位移。按被測變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型（如自發(fā)電式）和結(jié)構(gòu)型兩種。常用位移傳感器以模擬式結(jié)構(gòu)型居多，包括電位器式位移傳感器、 電感式位移傳感器、自整角機(jī)、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。數(shù)字式位移傳感器的一個重要優(yōu)點是便于將信號直接送入計算機(jī)系統(tǒng)。這種傳感器發(fā)展迅速，應(yīng)用日益***。楊浦區(qū)常見傳感器性能

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