腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應腔：過渡腔：是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口，晶圓從外部運輸至設(shè)備入口，經(jīng)過前端模塊（EFEM）后進入過渡腔，方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境，后續(xù)再進入真空環(huán)境的傳輸腔、反應腔進行工藝反應。過渡腔以鋁合金為主，技術(shù)相對簡單。傳輸腔：是晶圓在過渡腔和反應腔之間進行轉(zhuǎn)移的中間平臺。傳輸腔材料主要是不銹鋼，腔體需要保證密封性和真空度，同時由于傳輸腔需要與不同工藝的反應腔連接，也需要采用不同的表面處理工藝來保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、的真空機械手、傳輸腔與反應腔連接處的門閥，以及各種真空密封件組成。反應腔：是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間，由于多種工藝氣體會流入反應腔內(nèi)發(fā)生化學反應，其對潔凈度和耐腐蝕性要求較高，尤其是先進制程對于潔凈度要求更高。反應腔中包括內(nèi)襯、勻氣盤等零部件，對性能要求更為嚴苛。選用不銹鋼材質(zhì)，確保腔體在高壓環(huán)境下依然穩(wěn)定。真空腔體生產(chǎn)廠家

不銹鋼真空腔體采用304不銹鋼，材料厚度從25mm到35mm，涉及多種規(guī)格。產(chǎn)品加工過程包括油磨、等離子切割、矯平、加工等工序，攻破技術(shù)壁壘、解決了加工難題。不銹鋼真空腔體的幾種表面處理方法：1、噴丸：噴丸即使用丸粒轟擊工件表面并植入殘余壓應力，提升工件疲勞強度的冷加工工藝。2、噴砂：噴砂是利用高速砂流的沖擊作用清理和粗化基體表面的過程，即采用壓縮空氣為動力，以形成高速噴射束將噴料（銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂）高速噴射到需要處理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。成都真空烘箱腔體設(shè)計我們提供完善的售后服務，任何問題都能得到及時解決。

真空腔體使用時的常見故障及措施：真空腔體是可以讓物料在真空狀態(tài)下進行相關(guān)物化反應的綜合反應工具。具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動加熱等幾大特點，是食品、生物制藥、精細化工等行業(yè)常用的反應設(shè)備之一，用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應過程。真空腔體使用時常見的一些故障及解決辦法如下：1、容器內(nèi)有溶劑，受飽和蒸汽壓限制。解辦法：放空溶劑，空瓶試。2、真空泵能力下降。解決辦：真空泵換油（水），清洗檢修。3、真空皮管，接頭松動，真空表具泄漏。解決辦法：沿真空管路逐段檢查、排除。4、儀器作保壓試驗，在沒有任何溶劑的情況下，關(guān)斷所有外部閥門和管路，保壓一分鐘，真空表指針應不動，表示氣密性良好。解決辦法：（1）重新裝配，玻璃磨口擦洗干凈，涂真空硅脂，法蘭口對齊擰緊；（2）更換失效密封圈。5、真空腔體的放料閥、壓控閥內(nèi)有雜物。解決辦法：清洗；

真空腔體是半導體設(shè)備關(guān)鍵零部件，主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中。腔體通常由高純度、耐腐蝕的材料制成，主要為不銹鋼和鋁合金。真空腔體為晶圓生產(chǎn)提供耐腐蝕、潔凈和高真空環(huán)境，用于承載并控制芯片制造過程中的化學反應和物理反應過程，主要應用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備，也少量用于離子注入、高溫擴散等設(shè)備。其所需中心技術(shù)為高精密多工位復雜型面制造技術(shù)和表面處理特種工藝技術(shù)，以保證反應過程中腔體的真空環(huán)境、潔凈程度和耐腐蝕性能。選擇暢橋真空，就是選擇了一個可靠的合作伙伴，共創(chuàng)美好未來。

真空腔體操作前的準備工作：1、檢查水沖泵（前級泵）水箱液位是否達水箱的3/4以上，若不足則補足。2檢查水箱內(nèi)所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，真空腔體增加水泵葉輪磨損、增加電機負荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。3、檢查中間泵及主泵泵體內(nèi)的潤滑油油面高，須達油窗的3/4以上，同時檢查潤滑油的顏色，出現(xiàn)乳白色或黑色雜質(zhì)較多則通知機修替換潤滑油。4、真空腔體檢查中間泵及主泵循環(huán)冷卻水水路是否完好，打開循環(huán)冷卻水進出口閥門，檢查循環(huán)冷卻進出水是否正常。5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關(guān)閉。6、檢查機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。7、檢查機組觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常（中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上，主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上）。8、待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空腔體機組。我們注重環(huán)保，選用可回收材料，助力綠色科研。真空腔體生產(chǎn)廠家

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真空腔體的使用方法介紹：1、將反應物倒入襯套內(nèi)，空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確（凸起面向下），然后放入襯套和上墊片，先擰緊釜蓋混合設(shè)備，然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設(shè)備置于加熱器內(nèi)，按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應溫度。（小于規(guī)定的使用溫度）。4、當確認內(nèi)部溫度低于反應物系種溶劑沸點后方能打開釜蓋進行后續(xù)操作。真空腔體待反應結(jié)束將其降溫時，也要嚴格按照規(guī)定的降溫速率操作，以利于設(shè)備的使用壽命。5、確認內(nèi)部溫度低于反應物系種溶劑沸點后，先用螺桿把釜蓋旋扭松開，然后將釜蓋打開。6、真空腔體每次使用后要及時將其清洗干凈，以免銹蝕。釜體、釜蓋線密封處要格外注意清洗干凈，避免將其碰傷損壞。真空腔體生產(chǎn)廠家