微流控芯片的硅質(zhì)材料加工工藝:是在硅材料的加工中,光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術(shù)是2種常規(guī)工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝,主要用于加工微泵、微閥等液流驅(qū)動和控制器件,或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽模。光刻是用光膠、掩模和紫外光進行微制造。光刻和濕法蝕刻技術(shù)通常由薄膜沉淀、光刻、刻蝕3個工序組成。在薄膜表面用甩膠機均勻地附上一層光膠。然后將掩模上的圖像轉(zhuǎn)移到光膠層上,此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜,為光刻。再將光刻上的圖像,轉(zhuǎn)移到薄膜,并在基片上加工一定深度的微結(jié)構(gòu),此步驟完成了蝕刻。多樣化微流控芯片加工案例覆蓋數(shù)字 PCR、單分子檢測、POCT 等多個領(lǐng)域。湖北微流控芯片檢測
高聚物材料加工工藝:是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模,然后在陽模上澆注液體的高分子材料,將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片,之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行,不需要高技術(shù)設(shè)備,是大量生產(chǎn)廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年柲!:D衔⒘骺匦酒?jié)能規(guī)范利用微流控芯片對cancer標志物檢測。
大腦微流控芯片:與神經(jīng)元和細胞間相互作用直接相關(guān)的因素在腦組織功能的情況下起著重要作用。大腦及其組織的研究在很大程度上是復(fù)雜的,這使得諸如培養(yǎng)皿或培養(yǎng)瓶之類的2D模型無效,因為這些系統(tǒng)無法模擬大腦的實際生理環(huán)境。為了克服這一局限性,研究人員目前正在研究開發(fā)大腦微流控芯片平臺,可以在先進的小型化工程平臺下研究大腦的生理因素,該平臺可以通過多步光刻技術(shù)制備。它通過制造不同尺寸的微通道進一步實現(xiàn)了對腦組織的研究。
微流控芯片在POCT設(shè)備中的小型化設(shè)計與加工:POCT(即時檢驗)設(shè)備對微流控芯片的小型化、低成本與易用性提出了極高要求。公司通過微流道集成設(shè)計,將樣品預(yù)處理、反應(yīng)、檢測等功能壓縮至25mm×25mm芯片內(nèi),配合毛細虹吸與重力驅(qū)動流路,省去外部泵閥系統(tǒng),實現(xiàn)無動力操作。加工方面,采用紫外激光切割技術(shù)實現(xiàn)芯片邊緣的高精度成型(誤差<±50μm),并通過模內(nèi)注塑技術(shù)集成進樣孔、反應(yīng)腔與檢測窗口,單芯片生產(chǎn)成本較傳統(tǒng)工藝降低30%。典型案例包括抗原檢測芯片,其微流道網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)了樣本稀釋、抗體捕獲與顯色反應(yīng)的一體化,檢測時間縮短至15分鐘,檢測靈敏度與膠體金法相當(dāng),但操作步驟減少50%。公司還開發(fā)了芯片與試紙條的復(fù)合結(jié)構(gòu),兼容現(xiàn)有POCT儀器讀取系統(tǒng),為快速診斷產(chǎn)品提供了從設(shè)計到量產(chǎn)的全鏈條解決方案。微流控芯片材料多樣,PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景,玻璃適合高透檢測。
玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝:玻璃因其高透光性、化學(xué)穩(wěn)定性及表面平整性,成為光學(xué)檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結(jié)合工藝,在玻璃基板上實現(xiàn)1-200μm深度的微流道加工,配合雙面光刻對準技術(shù),確保流道結(jié)構(gòu)的三維高精度匹配??涛g后的玻璃芯片通過高溫鍵合(300-450℃)或陽極鍵合實現(xiàn)密封,鍵合強度可達5MPa以上,耐受高壓流體傳輸(如100kPa壓力下無泄漏)。典型應(yīng)用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片,其光滑的玻璃表面可直接進行生物分子修飾,用于DNA雜交、蛋白質(zhì)吸附等反應(yīng)。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板(如4英寸晶圓)的均勻刻蝕難題,通過優(yōu)化刻蝕液配比與等離子體參數(shù),將流道深度誤差控制在±2%以內(nèi),滿足前端科研與工業(yè)檢測對芯片一致性的嚴苛要求。MEMS 多重轉(zhuǎn)印工藝實,較短可 10 個工作日交付。國產(chǎn)微流控芯片廠家電話
深硅刻蝕實現(xiàn) 500μm 以上深度微流道,適用于高壓流體控制與微反應(yīng)器。湖北微流控芯片檢測
微流控芯片(microfluidic chip)是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)(Miniaturized Total Analysis Systems)發(fā)展的熱點領(lǐng)域。微流控芯片分析以芯片為操作平臺, 同時以分析化學(xué)為基礎(chǔ),以MEMS微機電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學(xué)為目前主要應(yīng)用對象,是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點。它的目標是把整個化驗室的功能,包括采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括:白金電阻芯片, 壓力傳感芯片, 電化學(xué)傳感芯片, 聲學(xué)微流控芯片,微/納米反應(yīng)器芯片, 微流體燃料電池芯片, 微/納米流體過濾芯片等。湖北微流控芯片檢測