11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上；現(xiàn)場(chǎng)除正常照明外，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場(chǎng)前，應(yīng)徹底清潔，并應(yīng)檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級(jí)別區(qū)域時(shí)，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封，并應(yīng)裝飾處理。無塵室是現(xiàn)代科技發(fā)展中的重要支撐，為各個(gè)領(lǐng)域的創(chuàng)新和進(jìn)步提供了穩(wěn)固的基礎(chǔ)。安徽塵埃粒子無塵室檢測(cè)技術(shù)好

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間，并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高超凈間等級(jí)。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測(cè)分析單向流和非單向流組合的氣流。

4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離（相鄰側(cè)邊沿）宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時(shí)，可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少，但不得小于25m。4.1.3對(duì)于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動(dòng)值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時(shí)，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動(dòng)力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告，其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機(jī)的風(fēng)機(jī)安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告，其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機(jī)的風(fēng)機(jī)安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。潔凈室被污染后,凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測(cè)應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對(duì)濕度測(cè)定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測(cè)可采用玻璃溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)；濕度的檢測(cè)可采用通風(fēng)式干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)、電容式濕度檢測(cè)儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表。溫度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于2%。測(cè)點(diǎn)為房間中間一點(diǎn)，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測(cè)完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時(shí)測(cè)出室外溫濕度。無塵室的設(shè)計(jì)充分考慮了環(huán)境污染的來源。安徽半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)目的

無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)量。安徽塵埃粒子無塵室檢測(cè)技術(shù)好

1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。安徽塵埃粒子無塵室檢測(cè)技術(shù)好