16.4.22臭氧濃度的檢驗應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運轉(zhuǎn)條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：當對新風(fēng)效果作細致確認時，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗方商定的方法檢測，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求或雙方商定的標準。凡不符合單向流定義的氣流。上海噪音無塵室檢測認真負責

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。上海排風(fēng)柜無塵室檢測認真負責無塵室創(chuàng)造了一個幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間，為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環(huán)境。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求的經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。

無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標，使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產(chǎn)和操作，從而達到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標。無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當量于被測粒子等效的球體直徑。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測報告

潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道,用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。上海噪音無塵室檢測認真負責

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。上海噪音無塵室檢測認真負責