7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格，因此應根據(jù)不同的要求設置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。壓縮空氣檢測潔凈室檢測誠信推薦

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側(cè)；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設備擴大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時，應根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應技術措施，如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。北京潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測頻率一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風，應集中處理。潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。無菌室的潔凈度直接決定了實驗室的微生物結(jié)果的可信度。江蘇國內(nèi)潔凈室檢測范圍

在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。壓縮空氣檢測潔凈室檢測誠信推薦

D.3.5氣流流型的檢測，應符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術進***流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。壓縮空氣檢測潔凈室檢測誠信推薦