11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應(yīng)徹底清潔，并應(yīng)檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時應(yīng)妥善保護墻壁與地面，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封，并應(yīng)裝飾處理。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告

9.2.1純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設(shè)備,應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;2純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;3純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測流程指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。

無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計，設(shè)計是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三個占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險評估、生產(chǎn)認證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點：使之無塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對于無塵車間工程行業(yè)來說，優(yōu)化設(shè)計、現(xiàn)場施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細節(jié)的經(jīng)驗積累，對客戶需求的理解和實現(xiàn)，以及對設(shè)計變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標(biāo)。

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，當(dāng)確認火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進行手動控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機、排風(fēng)機和新風(fēng)機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風(fēng)機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

12.4.2消防應(yīng)急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應(yīng)正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應(yīng)密封。3疏散走道上安裝的照明燈應(yīng)均勻布置，并保證其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示標(biāo)志牌(以下簡稱標(biāo)志牌）的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1標(biāo)志牌安裝在疏散走道和主要疏散路線的地面或靠近地面的墻上時，其箭頭應(yīng)指向**近的疏散出口或安全出口。2標(biāo)志牌安裝在墻上時，其下邊緣距地面距離不應(yīng)大于1m；安裝在地面上時，應(yīng)采用粘貼、鑲嵌式工藝安裝，其安裝后應(yīng)平整、牢固。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測范圍

無塵室在各個行業(yè)中都有應(yīng)用，尤其是需要對空氣粒子進行控制的環(huán)境和行業(yè)。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告