D.3.5氣流流型的檢測，應符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術進***流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。江蘇照度潔凈室檢測規(guī)范性強

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數(shù)刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。風速潔凈室檢測服務在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格，因此應根據(jù)不同的要求設置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經(jīng)濟比較，做到技術上可靠，經(jīng)濟上合理。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。可燃氣體管道、氧氣管道的末端或極高點均應設置放散管。江蘇微生物潔凈室檢測范圍

潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。江蘇照度潔凈室檢測規(guī)范性強

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設計是保證使用點水質(zhì)的關鍵。實踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。江蘇照度潔凈室檢測規(guī)范性強