雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。實(shí)時測量：可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集，適合動態(tài)測量。蘇州新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)， 這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]?；⑶饏^(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。

若干涉條紋發(fā)生移動，一定是場點(diǎn)對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發(fā)生變化，或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化，或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉(zhuǎn)動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數(shù)為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束（反射光和透射光）。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計，通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn)：實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計量分析雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)等，通過與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn)，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。吳中區(qū)附近雙頻激光干涉儀維保

隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展，雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測量精度將不斷提高。蘇州新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動時會產(chǎn)生變化)。蘇州新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

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