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來源: 發(fā)布時間:2025-06-19

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實現(xiàn)高精度線性位移測量,適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準、三坐標機校準及光學(xué)平臺校準。其測量鏡組可擴展功能,支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]:1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月,典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒,頻差為7±0.5MHz [2]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀,以下是對其的詳細介紹:一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光,通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經(jīng)移動目標反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號,通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說:雙頻生成:激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制),頻率分別為f1和f2。分束干涉:光束經(jīng)分光鏡分為兩路,一路為參考光(頻率穩(wěn)定),另一路為測量光(頻率經(jīng)被測物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf)?;⑶饏^(qū)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。

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基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計,通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化,實現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑:Φ60mm(典型型號) [3-4]對準方式:兩點對準系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造:檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測:評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗:實驗室環(huán)境下進行精密光學(xué)計量分析

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。當兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。

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若干涉條紋發(fā)生移動,一定是場點對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動鼓輪可以使其向前后方向移動,最小讀數(shù)為10mm,可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強度相等的兩束(反射光和透射光)。即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。太倉直銷雙頻激光干涉儀性價比

高精度:雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的測量精度,適用于微小位移的檢測。太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

另一方面,當可動棱鏡移動時,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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