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江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-02

針對(duì)機(jī)械行業(yè)多樣化的工況,新巴頓分子泵軸承采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。深溝球軸承結(jié)構(gòu)適用于低載荷高速場(chǎng)景(如實(shí)驗(yàn)室小型分子泵),其游隙控制在 C2 級(jí),保證轉(zhuǎn)速達(dá) 50000rpm 時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)精度;角接觸軸承則用于需要承受軸向載荷的機(jī)械系統(tǒng)(如大型真空冶煉設(shè)備),通過配對(duì)使用可承受雙向軸向力,軸向剛度提升 30% 以上。在磁懸浮分子泵中,軸承與磁懸浮系統(tǒng)的配合間隙控制在 5-10μm,既滿足機(jī)械支撐需求,又避免電磁干擾。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使軸承在機(jī)械行業(yè)的真空泵啟動(dòng)階段(0-3000rpm 加速過程)能有效抑制振動(dòng),振幅控制在 50μm 以內(nèi),保障設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)性。巴頓分子泵軸承:高性能分子泵軸承,助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承在加工過程中進(jìn)行高精度動(dòng)平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低振動(dòng)特性。在大型分子泵機(jī)組中,軸承與轉(zhuǎn)子的組合動(dòng)平衡等級(jí)達(dá)到 G1.0(ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn)),當(dāng)轉(zhuǎn)速 30000rpm 時(shí),軸承座振動(dòng)速度≤1.0mm/s。這種動(dòng)態(tài)平衡技術(shù)可避免機(jī)械系統(tǒng)因振動(dòng)導(dǎo)致的連接件松動(dòng)、密封失效等問題,尤其適用于半導(dǎo)體光刻機(jī)的真空系統(tǒng) —— 該場(chǎng)景要求振動(dòng)振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設(shè)計(jì),可將振動(dòng)控制在 5μm 以內(nèi),保障光刻工藝的精度。長(zhǎng)寧區(qū)C1909HX205Y27DF分子泵軸承國(guó)際物流網(wǎng)絡(luò)完善,新巴頓分子泵軸承實(shí)現(xiàn)全球快速供應(yīng)。

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在磁懸浮分子泵系統(tǒng)中,新巴頓的磁浮備用軸承發(fā)揮著安全保障作用。當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)斷電時(shí),備用軸承需在 0.1 秒內(nèi)承接轉(zhuǎn)子載荷,避免高速轉(zhuǎn)子墜落損壞。公司設(shè)計(jì)的圓錐滾子備用軸承,采用淬火后 HRC62-64 的滲碳軸承鋼,配合凸度修形技術(shù),可承受瞬間高達(dá) 100g 的沖擊載荷。其與磁浮軸承的間隙控制在 0.1-0.2mm,既保證磁浮運(yùn)行時(shí)的無接觸狀態(tài),又確保斷電時(shí)的可靠承接。某科研用高真空系統(tǒng)采用該方案后,成功通過 1000 次斷電測(cè)試,軸承未出現(xiàn)任何塑性變形,滿足 ISO 16890 標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)苛要求。

分子泵軸承在 10??Pa 以上的超高真空環(huán)境中運(yùn)行時(shí),材料的出氣率成為關(guān)鍵指標(biāo)。新巴頓采用真空除氣工藝對(duì)軸承組件進(jìn)行預(yù)處理,通過在 120℃真空爐中烘烤 24 小時(shí),使不銹鋼套圈的水汽釋放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。針對(duì)真空鍍膜設(shè)備中鋁蒸汽冷凝導(dǎo)致的軸承卡死問題,公司開發(fā)的迷宮式密封結(jié)構(gòu),通過多道曲徑密封槽與擋油環(huán)配合,將蒸汽侵入量減少 90%。某光學(xué)鍍膜企業(yè)使用該方案后,軸承更換周期從 1 個(gè)月延長(zhǎng)至 8 個(gè)月,大幅降低了因停機(jī)導(dǎo)致的產(chǎn)能損失。巴頓分子泵軸承:獨(dú)特潤(rùn)滑系統(tǒng),降低維護(hù)成本。

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新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤(rùn)滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動(dòng)中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。高速極限轉(zhuǎn)速達(dá) 60000rpm,新巴頓分子泵軸承滿足機(jī)械高速運(yùn)轉(zhuǎn)要求。上海巴頓C1907HX205Y25DF分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:技術(shù)支持,解決客戶難題。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

新巴頓為機(jī)械行業(yè)用戶提供標(biāo)準(zhǔn)化的軸承安裝指南。安裝前需測(cè)量配合尺寸(軸頸公差 h5,座孔公差 H6),采用溫差法安裝(軸承加熱至 80-100℃,軸冷卻至 - 10-0℃),避免敲擊損傷滾道。在渦輪分子泵裝配中,軸承的軸向預(yù)緊力控制在 50-100N,通過彈簧加載或螺紋調(diào)整實(shí)現(xiàn),預(yù)緊力偏差≤5%。調(diào)試階段使用振動(dòng)檢測(cè)儀(如 VMI 6320),確保軸承運(yùn)行時(shí)的加速度值≤5m/s2。這種規(guī)范的安裝調(diào)試流程,可使機(jī)械系統(tǒng)的軸承早期故障率降低 70%,尤其適用于自動(dòng)化生產(chǎn)線的快速裝配,減少機(jī)械停機(jī)時(shí)間。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

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