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"在微納加工世界，灰塵就是‘導(dǎo)彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時(shí)我們不在意的小細(xì)節(jié)都會(huì)對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺(tái)算得上是世上**干凈的實(shí)驗(yàn)室了，做微納加工工藝的工程師們，在進(jìn)入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風(fēng)淋間吹掃全身，并***除塵毯，方得進(jìn)入潔凈室。然后進(jìn)行各個(gè)工藝的操作，每個(gè)工程師各司其職，互不干涉。在工藝過程中遇到了一些技術(shù)難題，工程師們會(huì)集中起來一起討論。北京**微納代工微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離...

微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低應(yīng)力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控濺射(特殊的有AlN、ZnO、PZT等)、電子束蒸發(fā)、深硅刻蝕、RIE（刻蝕SiO2、SiN）、晶圓鍵合（陽極鍵合、金屬鍵合、膠鍵合等）、金屬電鍍、 CMP芯片切割（砂輪劃片、激光表切、激光隱形切割）、快速退火、SEM、XRD、EDS、SIMS等等浙江微納代工行業(yè)納米工藝加工平臺(tái)的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻(xiàn)力量。內(nèi)蒙古微納代工哪家好納米工藝加工平臺(tái)的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕、結(jié)構(gòu)與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時(shí)具備**技術(shù)的電子束光刻、聚...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻(xiàn)力量。質(zhì)量微納代工納米工藝加工平臺(tái)的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕、結(jié)構(gòu)與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時(shí)具備**技術(shù)的電子束光刻、聚焦離子束...

激光微納加工制造是微納制造技術(shù)的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用，改變材料的物態(tài)和性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時(shí)間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端，而使制造過程所利用的物理效應(yīng)、作用機(jī)理完全不同于傳統(tǒng)制造，其制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)的能力與品質(zhì)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)制造，由此產(chǎn)生了一批新技術(shù)（如光刻、近場納米制造、干涉誘導(dǎo)加工、微焊接等）、一批新產(chǎn)品（如大規(guī)模集成電路、MEMS/NEMS等）、一批產(chǎn)品的高性能化（如航空發(fā)動(dòng)機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)、太陽能電池等）和相應(yīng)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)群。 激光微納制造涉及光學(xué)、物理、材料、化學(xué)、生物、信息、控制、...

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納米光刻技術(shù)是一種精確的圖案化技術(shù)，用于生物傳感器和先進(jìn)材料的功能納米結(jié)構(gòu)的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。由于大多數(shù)光刻圖案具有3D結(jié)構(gòu)，因此表征技術(shù)必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面以記錄表面形態(tài)，不僅獲得高橫向分辨率，而且能得到納米和亞納米級的垂直分辨率。它提供了一種精確表征三維納米光刻結(jié)構(gòu)的可靠方法?，F(xiàn)階段很多科研工作者用微納加工技術(shù)研發(fā)生產(chǎn)了如仿生撲翼飛行昆蟲、一體化折疊集成微機(jī)器人、微流控滑動(dòng)芯片等樣品，微納加工的前沿科技感躍然紙上。湖北微納代工哪家好納米工藝加工平臺(tái)的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻...

目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點(diǎn)，可以加工出遠(yuǎn)小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領(lǐng)域具有獨(dú)特優(yōu)勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米尺寸結(jié)構(gòu)的加工； （3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結(jié)合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。 （4）等離子刻蝕技術(shù)，等離子刻蝕技術(shù)是應(yīng)用*****的微納米加工手段，加工精度高，...

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微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低應(yīng)力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控濺射(特殊的有AlN、ZnO、PZT等)、電子束蒸發(fā)、深硅刻蝕、RIE（刻蝕SiO2、SiN）、晶圓鍵合（陽極鍵合、金屬鍵合、膠鍵合等）、金屬電鍍、 CMP芯片切割（砂輪劃片、激光表切、激光隱形切割）、快速退火、SEM、XRD、EDS、SIMS等等官方微納代工哪家好目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻(xiàn)力量。江西微納代工微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（...

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微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點(diǎn)關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技術(shù)是開展MEMS傳感器研究的基礎(chǔ)與保證，一定要加強(qiáng)微納制造技術(shù)的基礎(chǔ)研究并長期堅(jiān)持；探索產(chǎn)學(xué)研用新機(jī)制；專業(yè)學(xué)術(shù)論壇的舉行將為我國微納制造與測試技術(shù)領(lǐng)域提供協(xié)同創(chuàng)新的平臺(tái)。北京微納代工值得信賴原位芯片掌握先進(jìn)的光刻技術(shù)，為企業(yè)提供光刻代加工服務(wù)。電子束曝光技術(shù)簡稱“光刻”，是當(dāng)前**常用的微納加工方案，充當(dāng)模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精...

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原位芯片掌握先進(jìn)的光刻技術(shù)，為企業(yè)提供光刻代加工服務(wù)。電子束曝光技術(shù)簡稱“光刻”，是當(dāng)前**常用的微納加工方案，充當(dāng)模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達(dá)到1納米，但是實(shí)際情況下很難，儀器輕微的振動(dòng)、外界磁場的干擾、操作人員的經(jīng)驗(yàn)都會(huì)影響**終結(jié)果?！澳壳半娮邮毓獾木却蠹s在60-80納米左右，相當(dāng)于人頭發(fā)絲的千分之一。隨著微納器件的小型化、精細(xì)化發(fā)展，光刻技術(shù)步驟繁瑣、光刻膠易殘留難清洗的局限也越發(fā)凸顯?！痹诠饪碳夹g(shù)上還有很大的提升以及研究空間。遼寧質(zhì)量微納代工微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻(xiàn)力量。北京正規(guī)微納代工目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很...

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納米光刻技術(shù)是一種精確的圖案化技術(shù)，用于生物傳感器和先進(jìn)材料的功能納米結(jié)構(gòu)的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。由于大多數(shù)光刻圖案具有3D結(jié)構(gòu)，因此表征技術(shù)必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面以記錄表面形態(tài)，不僅獲得高橫向分辨率，而且能得到納米和亞納米級的垂直分辨率。它提供了一種精確表征三維納米光刻結(jié)構(gòu)的可靠方法?，F(xiàn)階段很多科研工作者用微納加工技術(shù)研發(fā)生產(chǎn)了如仿生撲翼飛行昆蟲、一體化折疊集成微機(jī)器人、微流控滑動(dòng)芯片等樣品，微納加工的前沿科技感躍然紙上。正規(guī)微納代工價(jià)格激光微納加工制造是微納制造技術(shù)的重要部分。激光微納制造是通過...

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目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點(diǎn)，可以加工出遠(yuǎn)小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領(lǐng)域具有獨(dú)特優(yōu)勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米尺寸結(jié)構(gòu)的加工； （3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結(jié)合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。 （4）等離子刻蝕技術(shù)，等離子刻蝕技術(shù)是應(yīng)用*****的微納米加工手段，加工精度高，...

微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點(diǎn)關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技術(shù)是開展MEMS傳感器研究的基礎(chǔ)與保證，一定要加強(qiáng)微納制造技術(shù)的基礎(chǔ)研究并長期堅(jiān)持；探索產(chǎn)學(xué)研用新機(jī)制；專業(yè)學(xué)術(shù)論壇的舉行將為我國微納制造與測試技術(shù)領(lǐng)域提供協(xié)同創(chuàng)新的平臺(tái)。江西微納代工來電咨詢微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子...

目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點(diǎn)，可以加工出遠(yuǎn)小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領(lǐng)域具有獨(dú)特優(yōu)勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米尺寸結(jié)構(gòu)的加工； （3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結(jié)合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。 （4）等離子刻蝕技術(shù)，等離子刻蝕技術(shù)是應(yīng)用*****的微納米加工手段，加工精度高，...

"在微納加工世界，灰塵就是‘導(dǎo)彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時(shí)我們不在意的小細(xì)節(jié)都會(huì)對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺(tái)算得上是世上**干凈的實(shí)驗(yàn)室了，做微納加工工藝的工程師們，在進(jìn)入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風(fēng)淋間吹掃全身，并***除塵毯，方得進(jìn)入潔凈室。然后進(jìn)行各個(gè)工藝的操作，每個(gè)工程師各司其職，互不干涉。在工藝過程中遇到了一些技術(shù)難題，工程師們會(huì)集中起來一起討論。江西微納代工性價(jià)比高目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀...

"在微納加工世界，灰塵就是‘導(dǎo)彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時(shí)我們不在意的小細(xì)節(jié)都會(huì)對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺(tái)算得上是世上**干凈的實(shí)驗(yàn)室了，做微納加工工藝的工程師們，在進(jìn)入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風(fēng)淋間吹掃全身，并***除塵毯，方得進(jìn)入潔凈室。然后進(jìn)行各個(gè)工藝的操作，每個(gè)工程師各司其職，互不干涉。在工藝過程中遇到了一些技術(shù)難題，工程師們會(huì)集中起來一起討論。天津微納代工質(zhì)量商家納米工藝加工平臺(tái)的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕、結(jié)構(gòu)與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時(shí)具備**技術(shù)的電子束光...

激光微納加工制造是微納制造技術(shù)的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用，改變材料的物態(tài)和性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時(shí)間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端，而使制造過程所利用的物理效應(yīng)、作用機(jī)理完全不同于傳統(tǒng)制造，其制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)的能力與品質(zhì)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)制造，由此產(chǎn)生了一批新技術(shù)（如光刻、近場納米制造、干涉誘導(dǎo)加工、微焊接等）、一批新產(chǎn)品（如大規(guī)模集成電路、MEMS/NEMS等）、一批產(chǎn)品的高性能化（如航空發(fā)動(dòng)機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)、太陽能電池等）和相應(yīng)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)群。 激光微納制造涉及光學(xué)、物理、材料、化學(xué)、生物、信息、控制、...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻(xiàn)力量。河南微納代工性價(jià)比高微納代工質(zhì)量好、效率高、價(jià)格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子...

原位芯片掌握先進(jìn)的光刻技術(shù)，為企業(yè)提供光刻代加工服務(wù)。電子束曝光技術(shù)簡稱“光刻”，是當(dāng)前**常用的微納加工方案，充當(dāng)模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達(dá)到1納米，但是實(shí)際情況下很難，儀器輕微的振動(dòng)、外界磁場的干擾、操作人員的經(jīng)驗(yàn)都會(huì)影響**終結(jié)果?！澳壳半娮邮毓獾木却蠹s在60-80納米左右，相當(dāng)于人頭發(fā)絲的千分之一。隨著微納器件的小型化、精細(xì)化發(fā)展，光刻技術(shù)步驟繁瑣、光刻膠易殘留難清洗的局限也越發(fā)凸顯。”在光刻技術(shù)上還有很大的提升以及研究空間。上海微納代工值得信賴微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有...

激光微納加工制造是微納制造技術(shù)的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用，改變材料的物態(tài)和性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時(shí)間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端，而使制造過程所利用的物理效應(yīng)、作用機(jī)理完全不同于傳統(tǒng)制造，其制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)的能力與品質(zhì)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)制造，由此產(chǎn)生了一批新技術(shù)（如光刻、近場納米制造、干涉誘導(dǎo)加工、微焊接等）、一批新產(chǎn)品（如大規(guī)模集成電路、MEMS/NEMS等）、一批產(chǎn)品的高性能化（如航空發(fā)動(dòng)機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)、太陽能電池等）和相應(yīng)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)群。 激光微納制造涉及光學(xué)、物理、材料、化學(xué)、生物、信息、控制、...