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來源: 發(fā)布時間:2025-03-28

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    根據(jù)某些實施例,所述堆疊完全位于溝槽上方。根據(jù)某些實施例,電容部件包括位于溝槽中的絕緣層。根據(jù)某些實施例,絕緣層完全填滿溝槽。根據(jù)某些實施例,絕緣層為所述溝槽的壁加襯,所述電容裝置還包括通過所述絕緣層與所述襯底隔開的多晶硅壁。根據(jù)某些實施例,溝槽填充有由絕緣層與溝槽壁隔開的多晶硅壁。根據(jù)某些實施例,***導電層包括**,所述電容部件還包括:將所述***導電層的所述**與所述第二導電層分開的環(huán)形的氧化物-氮化物-氧化物結構。根據(jù)某些實施例,第二層的***部分的**通過氧化物-氮化物-氧化物三層結構的環(huán)形部分與第三層的***部分分離。某些實施例提供了一種電子芯片,其包括半導體襯底;***電容部件,所述***電容部件包括:在所述半導體襯底中的***溝槽;與所述***溝槽豎直排列的***氧化硅層;以及包括多晶硅或非晶硅的***導電層和第二導電層,所述***氧化硅層位于所述***導電層和所述第二導電層之間并且與所述***導電層和所述第二導電層接觸。根據(jù)某些實施例,該電子芯片還包括晶體管柵極,所述晶體管柵極包括第三導電層和擱置在所述第三導電層上的第四導電層。根據(jù)某些實施例,該電子芯片還包括晶體管柵極。

    同時保持電容部件262和264中的至少一個電容部件。圖3示出了電容式電子芯片部件300的實施例。電容部件300與圖2的部件264相似,其中每個溝槽104由一個或多個溝槽302代替,層120、220和240的部分的堆疊覆蓋溝槽302并且覆蓋位于溝槽302之間并且在溝槽的任一側上的襯底102的區(qū)域。層304使襯底區(qū)域與堆疊電絕緣。層304具有例如小于15nm量級,推薦。溝槽302使得它們的壁和它們的底部覆蓋有電絕緣層305。溝槽填充有電導體,推薦摻雜多晶硅,電導體然后在每個溝槽302中形成通過絕緣層305與襯底分離的導電壁306。例如,層305具有層304厚度量級中的厚度。溝槽302推薦具有在從300nm至600nm的范圍中的深度。溝槽推薦具有在從μm至μm的范圍中的寬度。層120例如通過絕緣層部分320與壁306分離。然后將壁306和層120連接在一起(連接330)。作為變型,層120與壁306接觸。層120和壁306耦合到、推薦地連接到電容部件300的端子a。推薦地,溝槽302界定襯底102的p型摻雜區(qū)域310。區(qū)域310推薦地位于共同的n型摻雜區(qū)域312上。溝槽302到達、推薦地穿透到區(qū)域312中,使得區(qū)域310彼此電絕緣。區(qū)域310耦合到電容部件300的端子b。上層240耦合到端子b。因此對于相同占據(jù)的表面積。半自動芯片引腳整形機的操作步驟是怎樣的?

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    該晶體管柵極包括第二層的第二部分并且擱置在***層的第二部分上。根據(jù)某些實施例,該電子芯片還包括第二電容部件,所述第二電容部件包括:所述半導體襯底中的第二溝槽;與所述第二溝槽豎直排列的第二氧化硅層;以及包括多晶硅或非晶硅的第三導電層和第四導電層,所述第二氧化硅層位于所述第三導電層和所述第四導電層之間并且與所述第三導電層和所述第四導電層接觸,并且所述***氧化硅層和所述第二氧化硅層具有不同的厚度。根據(jù)某些實施例,該電子芯片還包括第二電容部件,所述第二電容部件包括:第三導電層和第四導電層;以及所述第三導電層和所述第四導電層之間的***氧化物-氮化物-氧化物三層結構。根據(jù)某些實施例,該電子芯片包括例如上文所定義的第二電容部件,***電容部件和第二電容部件的第二層和第三層是共用的,并且這些***層具有不同的厚度。根據(jù)某些實施例,該電子芯片包括附加的電容部件,該電容部件包括在第二層和第三層的附加部分之間的氧化物-氮化物-氧化物三層結構的***部分。根據(jù)某些實施例,該電子芯片包括存儲器單元,所述存儲器單元包括浮置柵極、控制柵極和位于所述浮置柵極和所述控制柵極之間的第二氧化物-氮化物-氧化物三層結構。半自動芯片引腳整形機在修復過程中如何保證安全性和穩(wěn)定性?上海本地芯片引腳整形機歡迎選購

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    本公開一般涉及電子裝置,并且特別是電子集成電路芯片的電容部件和包括這種電容部件的電子芯片。背景技術:電子集成電路芯片通常包括晶體管和/或存儲器單元。這種芯片通常還包括電容部件。技術實現(xiàn)要素:根據(jù)本實用新型,可以克服制造過程復雜等技術問題,有助于實現(xiàn)以下***:簡化電容部件的制造步驟并且減小其所占用的結構空間。實施例提供了一種電容部件,包括半導體襯底;在所述半導體襯底中的溝槽;與***溝槽豎直排列的氧化硅層;以及包括溝槽以及與溝槽豎直排列的***氧化硅層的***部分和包括多晶硅或非晶硅的第二導電層和第三導電層的***部分,***層的***部分位于第二層和第三層的***部分之間并與第二層和第三層的***部分接觸。根據(jù)某些實施例,***導電層與所述第二導電層豎直排列地定位。根據(jù)某些實施例,第二層的***部分與第三層的***部分豎直排列地定位。根據(jù)某些實施例,氧化硅層與所述***導電層和所述第二導電層形成堆疊。根據(jù)某些實施例,***層、第二層和第三層的***部分形成堆疊。根據(jù)某些實施例,氧化硅層的側面以及所述***導電層和所述第二導電層的側面對應于所述堆疊的側面。根據(jù)某些實施例,***層、第二層和第三層的***部分的側面對應于所述堆疊的側面。上海本地芯片引腳整形機歡迎選購

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