本實用新型關(guān)乎半導體裝置領(lǐng)域，尤為關(guān)乎一種工藝腔體。背景技術(shù)：在半導體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉(zhuǎn)的方法開展工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。以光刻工藝舉例來說解釋：光刻膠涂布是光刻的舉足輕重單元，但是在光刻膠涂布過程中，剩余的光刻膠被甩出晶圓表面，它們中的一部分不會經(jīng)由管路排走，而是匯聚在工藝腔體的內(nèi)壁。匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的光刻膠在干燥之后會演變?yōu)轭w粒物，在涂布下一片晶圓時，高速轉(zhuǎn)動的晶圓會產(chǎn)生擾流并在晶圓的邊沿區(qū)域形成細微的真空，這些真空會吸引匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面，致使晶圓產(chǎn)生缺點。現(xiàn)有技術(shù)中會對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，引致減低了生產(chǎn)效率。因此，有必要提供一種可自動更換及清洗體壁的工藝腔體。技術(shù)實現(xiàn)元素：本實用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，從而提高生產(chǎn)效率。為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工藝腔體，包括：內(nèi)層體壁，由所述內(nèi)層體壁平分而成的內(nèi)層體壁段；由承載所述內(nèi)層體壁的承載物平分而成的承載段。洺洲緊固件為你打造高質(zhì)量弓形吊環(huán)螺母-品質(zhì)鑄就輝煌！湖北進口開體花蘭

    花籃螺栓利用絲杠進行伸縮，能調(diào)整鋼絲繩的松緊。可在構(gòu)件運輸中捆綁構(gòu)件，在安裝校正中松。由具有左和右旋螺紋的調(diào)節(jié)桿、螺母及拉桿組成，調(diào)節(jié)桿上還固定由蓋板、固定板、導位板用防盜防松螺栓連接成一體的防盜防松裝置構(gòu)成。使用時必須要用前列的配套套筒才能旋開防盜防松螺栓，其防盜效果好、安全可靠。防盜防松裝置拆卸后，不需將其拿下，利用其上的環(huán)導板沿拉桿滑動，移動一距離就可調(diào)節(jié)、操作，因此使用方便。其結(jié)構(gòu)簡單，易加工、成本低、實用性強。特別適用于電力線路，尤以作高壓鐵塔拉桿的定位裝置?；ɑ@螺栓為一鑄鋼件，設計計算時，更計算與其相應的拉桿即可，但花籃的規(guī)格應比拉桿高一級，以下是鋼結(jié)構(gòu)設計中常用的拉桿及相應花籃的規(guī)格:拉桿花籃Φ20M22Φ24M27Φ28M30Φ30M32若采用其他規(guī)格的拉桿，則花籃可以定作。各種規(guī)格的普通或前列度花蘭螺栓,花籃螺栓,開體花蘭,開體花籃，材質(zhì)有:Q235B、45號鋼、40Cr、35CrMoA、Q345D花蘭螺栓,花籃螺栓,開體花蘭,開體花籃等?；ɑ@螺栓規(guī)格表是什么?花籃螺栓的主要是調(diào)整鋼絲繩的松緊，應用十分前列，故此花籃螺栓規(guī)格表自然也是比較常用的數(shù)據(jù)?；ɑ@螺栓分類一般是前列拉桿、花籃螺栓部件、第二拉桿、定位件。 天津質(zhì)量開體花蘭施工被吊物耳板厚度應適中，開體花蘭安裝好后，應保證扣體能夠靈活轉(zhuǎn)動，與耳板間無卡阻現(xiàn)象。

    本實用新型屬于懸掛架建筑施工領(lǐng)域，具體地說涉及一種花蘭體旋緊裝置。背景技術(shù)：在高層建筑施工過程中，往往需要用到大量的腳手架，腳手架用于安全防護以及作為操作平臺。腳手架是由大量橫向放置和豎向放置的鋼管通過鋼管扣件連接搭建起來的。腳手架由于搭建在建筑外墻之外，需要通過支撐來保證搭建的可靠性。腳手架通過支撐在懸掛架上來確保穩(wěn)定，而懸掛架與建筑墻體固定。懸掛架與建筑墻體固定后往往需要拉桿，斜向上拉懸掛架，給懸掛架斜向上的拉力，提高懸掛架的可靠性，這時候就需要一種可調(diào)節(jié)的拉桿。拉桿包括上拉桿、花蘭體和下拉桿；花蘭體上端設有上螺紋孔，用于和上拉桿的下螺紋柱配合，上拉桿上端與墻體連接；花蘭體下端設有下螺紋孔，用于和下拉桿的上螺紋柱配合，下拉桿下端與懸掛架連接；花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接；左連接柱和右連接柱之間保持間隙；通過旋轉(zhuǎn)花蘭體，上拉桿和下拉桿開始拉緊或松懈。但由于建筑施工工地比較復雜，采用無法調(diào)節(jié)的鋼棍來旋轉(zhuǎn)花蘭體很容易被擋住，而且鋼棍容易使花蘭體變形，或者在操作過程中容易滑動，導致工人滑倒受傷。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型的目的是針對上述不足之處提供一種花蘭體旋緊裝置。

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    在半導體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉(zhuǎn)的方法展開工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上?，F(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對工藝腔體的體壁展開定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，致使減低了生產(chǎn)效率。為了有效性的支配上述疑問，本實用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示，圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖。本實用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內(nèi)層體壁21，由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22；由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內(nèi)層體壁21**設立的**少一個替換體壁段23，所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動所述替換體壁段23的軌道段12；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實用新型通過將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個內(nèi)層體壁段22，并在內(nèi)層體壁21**設立替換體壁段23，用以適時替換被水污染的內(nèi)層體壁段22，從而可以分批次對內(nèi)層體壁段22展開替換，既不影響生產(chǎn)。產(chǎn)品出現(xiàn)下列情況之一，應更換部件或報廢。湖北進口開體花蘭

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