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來源: 發(fā)布時間:2023-06-01

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極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術,其波長為13.5納米,預計將于2021年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收,因此,EUV光刻機的光學系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結構使其可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學系統(tǒng)成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應用中有良好的性價比。方便微晶鋁合金信息推薦

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