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來源: 發(fā)布時間:2023-10-11

極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術(shù),其波長為13.5納米,預(yù)計將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,因此,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價比。微晶鋁合金對如今市場的影響。相關(guān)微晶鋁合金批量定制

微晶鋁合金是通過機(jī)械合金化和熱變形等工藝制備而成的。機(jī)械合金化是指將兩種或兩種以上的金屬或合金粉末在球磨機(jī)中進(jìn)行高能球磨,使其發(fā)生冷焊接和斷裂,從而形成均勻的混合物。熱變形是指將機(jī)械合金化后的粉末進(jìn)行熱壓或擠壓,使其形成均勻的微晶結(jié)構(gòu)。微晶鋁合金的制備過程中需要控制球磨時間、球磨介質(zhì)、球磨速度、熱壓溫度等參數(shù),以獲得理想的微晶結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。二、微晶鋁合金的力學(xué)性能微晶鋁合金具有優(yōu)異的力學(xué)性能,其強(qiáng)度和韌性均優(yōu)于傳統(tǒng)的鋁合金材料。上海微聯(lián)實(shí)業(yè)有限公司表面光潔度微晶鋁合金合成技術(shù)上海微聯(lián)荷蘭微晶鋁合金。

普通鋁合金冷卻速度慢會帶來內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大。微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因為是硅鋁合金,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。具有高耐磨性能和精加工性能。應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件,反射鏡,高導(dǎo)熱材料。電子封裝,如散熱器,載具,微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備,如激光器夾具,反射鏡。設(shè)備制造,如活塞氣缸,屏蔽設(shè)備,精密設(shè)備夾具,載具。

微小衛(wèi)星主要用于通信、對地探測、行星探測、科學(xué)研究和技術(shù)試。,它的發(fā)展依然是受需求牽引和技術(shù)推動的制約。這些新技術(shù)主要包括電推進(jìn)技術(shù)、多功能結(jié)構(gòu)、微機(jī)電系統(tǒng)、一體化設(shè)計、輕型材料。先進(jìn)的存儲器與計算機(jī)技術(shù)以及軌道姿態(tài)控制技術(shù)等。隨著這些技術(shù)不斷被攻克,微小衛(wèi)星必將成為一大類航天器,并作為大型航天器的補(bǔ)充,國民經(jīng)濟(jì)各部門得到廣泛應(yīng)用。關(guān)鍵的問題是減重并且保證材料本身的性能。微晶鋁合金重量輕,表面精度高,可以做復(fù)雜結(jié)構(gòu)件和衛(wèi)星整體結(jié)構(gòu)件。微晶鋁合金表面晶粒細(xì)小均勻,且有良好的加工性和拋光度能很好滿足航天技術(shù)要求。一款專為增材制造而開發(fā)的材料。

RSP鋁合金熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性高,可以應(yīng)用在高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件上。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價比。RSP微晶鋁合金成型后穩(wěn)定性高。反射鏡微晶鋁合金

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