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極紫外光刻（英語：Extremeultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長是下一代光刻技術(shù)，其波長為13.5納米，預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收，因此，EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料，很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。

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普通鋁合金材料冷卻速度慢其內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶，熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整，熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法，使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金，使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高，獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金，能很好的綜合了兩種金屬的優(yōu)點(diǎn)。具有高耐磨性能和精加工性能。應(yīng)用領(lǐng)域：航天工業(yè)，如航空航天緊固件，結(jié)構(gòu)件。高導(dǎo)熱材料。電子封裝，如散熱器，載具，微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備，如激光器夾具，反射鏡。設(shè)備制造，如活塞氣缸，屏蔽設(shè)備，精密設(shè)備夾具，載具。RSP鋁合金源頭直接出貨，性價(jià)比高。經(jīng)濟(jì)方便。荷蘭鋁，微晶鋁合金，上海微聯(lián)。車床微晶鋁合金RSA-905

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