極紫外光刻（英語(yǔ)：Extremeultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù)，其波長(zhǎng)為13.5納米，預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收，因此，EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料，很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來(lái)的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面?？梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。微晶鋁合金材料的韌性高。光電設(shè)備微晶鋁合金分類

RSP鋁合金密度小，強(qiáng)度高，韌性高，高的導(dǎo)熱率和高導(dǎo)電率，高耐磨性，耐腐蝕性好，加工方便，精加工性能好。在航空航天，機(jī)械制造，工業(yè)半導(dǎo)體等有有大量應(yīng)用。RSA-905適合精拋光加工，具有表面平整度好，成型后穩(wěn)定性能高，熱膨脹系數(shù)低，高的導(dǎo)熱率，無(wú)需表面渡層?？梢詰?yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高，具有優(yōu)越的可加工性，比剛度高，導(dǎo)熱系數(shù)高，熱膨脹系數(shù)低，成型后穩(wěn)定性高?？梢詰?yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。光電設(shè)備微晶鋁合金分類可以超精密加工的微晶鋁合金。

普通鋁合金冷卻速度慢帶來(lái)材料內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶，熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整，熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法，使的兩種不同金屬形成均質(zhì)的合金，使晶粒大小分布均勻。這樣使得鋁合金表面平整度高，獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金，還很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能。同時(shí)材料的抗疲勞性能也得到提高。RSP鋁合金應(yīng)用在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，可以做出復(fù)雜結(jié)構(gòu)，高導(dǎo)熱性，散熱性能好，熱膨脹系數(shù)低，表面可以渡層。RSP鋁合金在航空航天工業(yè)領(lǐng)域中，在結(jié)構(gòu)件制造中，具有整體重量輕，強(qiáng)度高，韌性高，耐磨，熱膨脹系低，抗冷熱沖擊。表面易處理，可以得到高平整度表面。

RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，RSP鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的對(duì)整體設(shè)備的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來(lái)的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。~~~~~可以制造光學(xué)模具的微晶鋁合金。

微晶鋁合金一種用于高性能金屬光學(xué)的新的方法，特別是在極端情況下環(huán)境條件，因?yàn)樗鼈兺ǔ？赡馨l(fā)生在陸地和太空應(yīng)用中。而對(duì)于紅外應(yīng)用金剛石車削鋁是優(yōu)先的鏡面基底，它不足以滿足視覺范圍。適用于近紅外波長(zhǎng)（0.8μm–2.4μm）和低溫溫度（-200°C）下的應(yīng)用對(duì)于金剛石車削基底，*部分滿足要求。在這種情況下，諸如具有高形狀精度和小表面微粗糙度的光學(xué)表面，沒有衍射效應(yīng)和邊緣損耗對(duì)雜散光的研究引起了極大的興趣。這種新穎的專利材料組合與鋁合金的熱膨脹系數(shù)（CTE）相匹配以高硅含量（AlSi，Si≥40%）為鏡面基底，采用化學(xué)鍍鎳（NiP）的CTE。除了協(xié)調(diào)CTE（~13*10-6K-1）外，由于其高比這些材料的剛度。因此，這種合金還滿足了一個(gè)額外的要求：它是制造非常穩(wěn)定的輕型金屬反射鏡。為了實(shí)現(xiàn)因雙金屬效應(yīng)而產(chǎn)生的**小形狀偏差.鋁合金RSA-905微晶鋁合金。如何發(fā)展微晶鋁合金誠(chéng)信推薦

上海微聯(lián)的微晶鋁合金怎么樣？光電設(shè)備微晶鋁合金分類

RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來(lái)的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面?？梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面光電設(shè)備微晶鋁合金分類