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吉林溫濕度控制柜

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-01

我司憑借深厚的技術(shù)積累,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類對(duì)溫度極度敏感的項(xiàng)目,打造了近乎完美的溫場(chǎng)環(huán)境,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時(shí),設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。針對(duì)光學(xué)鏡片研磨車間,提供穩(wěn)定溫濕度,保證鏡片加工精度。吉林溫濕度控制柜

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在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域,從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步,都對(duì)環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),光刻機(jī)對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動(dòng),都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,導(dǎo)致光路偏差,使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行,讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。河北真空鍍膜機(jī)溫濕度高精密環(huán)境控制設(shè)備由主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等組成。

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精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí),溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù),獲得了眾多好評(píng)。

在光學(xué)儀器的裝配過程中,濕度的控制同樣關(guān)鍵。濕度過高容易使光學(xué)鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié),形成水漬,不僅影響鏡片的外觀,還會(huì)降低鏡片的光學(xué)性能。此外,高濕度環(huán)境還可能導(dǎo)致金屬部件生銹腐蝕,影響儀器的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和使用壽命。精密環(huán)控柜通過調(diào)節(jié)濕度,確保鏡片在裝配過程中始終處于干燥、潔凈的環(huán)境中,有效避免了上述問題的發(fā)生。這使得生產(chǎn)出的光學(xué)儀器,無論是用于科研領(lǐng)域的顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡,還是用于工業(yè)檢測(cè)的投影儀、測(cè)量?jī)x等,都能具備光學(xué)性能和穩(wěn)定性,滿足不同行業(yè)對(duì)高精度光學(xué)儀器的需求。采用節(jié)能技術(shù),在保障高性能的同時(shí)降低能耗,為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營成本。

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芯片蝕刻時(shí),刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”,可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性,有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中,精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3,杜絕塵埃顆粒污染芯片,防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響,確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。系統(tǒng)詳細(xì)記錄運(yùn)行信息,無論是日常運(yùn)行還是突發(fā)故障,查詢檢索都能準(zhǔn)確定位所需。高精密溫濕度波動(dòng)度

精密環(huán)境控制設(shè)備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),實(shí)現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度。吉林溫濕度控制柜

超精密激光外徑測(cè)量?jī)x,在精密制造領(lǐng)域里,是線纜、管材等產(chǎn)品外徑測(cè)量環(huán)節(jié)中不可或缺的存在。其測(cè)量精度直接關(guān)乎產(chǎn)品質(zhì)量。然而,環(huán)境因素對(duì)它的干擾不容小覷。一旦溫度產(chǎn)生波動(dòng),儀器的光學(xué)系統(tǒng)便會(huì)因熱脹冷縮發(fā)生熱變形,致使原本激光聚焦出現(xiàn)偏差,光斑尺寸也隨之改變,如此一來,根本無法精確測(cè)量產(chǎn)品外徑。像在高精度線纜生產(chǎn)中,哪怕只是極其微小的溫度變化,都可能致使產(chǎn)品外徑公差超出標(biāo)準(zhǔn)范圍。而在高濕度環(huán)境下,水汽對(duì)激光的散射作用大幅增強(qiáng),返回的激光信號(hào)強(qiáng)度減弱,噪聲卻不斷增大,測(cè)量系統(tǒng)難以準(zhǔn)確識(shí)別產(chǎn)品邊界,造成測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性和準(zhǔn)確性都嚴(yán)重變差 。吉林溫濕度控制柜

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