CMP(化學機械拋光)工藝中磨料顆粒的高精度粒徑表征隨著半導體工業(yè)飛速發(fā)展，電子器件尺寸縮小，要求晶片表面平整度達到納米級。CMP工藝作為芯片制造業(yè)不可或缺的一個部分，其對于磨料的顆粒粒度表征要求十分重要。CMP過程中使用的磨料顆粒典型尺寸范圍是10-200nm，其顆粒表征要求精確地確定納米級顆粒的尺寸，因此高分辨率納米粒度分析儀是磨料顆粒表征的完美解決方案。磨料對CMP工藝起著至關重要的作用！歡迎選用CPS納米粒度分析儀為您完美解決磨料顆粒問題！馳光機電具備雄厚的實力和豐富的實踐經驗。重慶高精度納米粒度分析儀

激光檢測器同時檢測顆粒對光的散射程度，根據(jù)米氏散射理論，得出不同尺寸顆粒的相對含量，從而得到顆粒粒徑的分布曲線。主要參數(shù)：測量范圍：0.005-75μm，光源：405nmLED，旋轉速度：12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM，標準分析圓盤：CR-39聚合物（耐有機溶劑和水溶液），可選 配：低密度樣品分析擴展、變速圓盤；自動密度梯度液生成器（型號AG300）；自動進樣器（型號AS200）；標定用標準顆粒。半導體CMP用拋光墊、清洗液、修整盤、拋光液、納米研磨粒子以及OLED顯示光敏聚酰亞胺、封裝墨水、低溫光阻材料等20余款“卡脖子”材料。福建CPS高精度納米粒度分析儀哪家好馳光機電銳意進取，持續(xù)創(chuàng)新為各行各業(yè)提供專業(yè)化服務。

使用CPS分析儀平行測定3次高純氧化鋁粉得到的疊加圖，表明儀器的重復性較好，樣品的粒徑為0.586微米。分析氧化鋁粉末時，為防止樣品發(fā)生凝聚，需要添加入少量的乙酸。氧化鋅ZnO粉末：氧化鋅俗稱鋅白，是鋅的一種氧化物。氧化鋅是一種常用的化學添加劑，大量地應用于塑料、硅酸鹽制品、合成橡膠、潤滑油、油漆涂料、藥膏、粘合劑、食品、電池、阻燃劑等產品的制作中。氧化鋅的能帶隙和激子束縛能較大，透明度高，有優(yōu)良的常溫發(fā)光性能，在半導體領域的液晶顯示器、薄膜晶體管、發(fā)光二極管等產品中均有應用。

CMP漿料粒度分析的難點在于必須在拋光過程中全濃度條件下快速測定平均顆粒直徑和粒度分布，因為稀釋可能導致漿料穩(wěn)定性和粒度的變化(比如進一步的團聚或解聚)，另外在稀釋后的漿料中很難檢測本來就較少量的團聚體。CPS-24000型納米粒度分析儀是較新型的納米粒度分析儀，它采用斯托克斯定律分析方法，V=D2(ρP-ρF)G/18η，即顆粒沉降的速度與顆粒的尺寸平方成正比來進行粒度的測量，因此粒徑相差小至1%的顆粒都可以明顯分辨出來。適用于稀到高濃度的樣品粒度測定，對團聚體的存在非常敏感。馳光機電以顧客為本，誠信服務為經營理念。

CPS納米粒度分析儀樣本分散系統(tǒng)：自動液體循環(huán)、干粉分散器、粉料送樣器、溫度控制器、氣溶膠控制器。粒度儀的較佳選擇：EyeTech可以提供顆粒系統(tǒng)粒徑、形狀和濃度等方面的總體信息。具有多樣化的功能，可以：監(jiān)測動力學過程；提供標準的體積和數(shù)量分布的結果。激光和圖像通道的結合：對球形、非球形及細長顆粒的精確定性分析；可同時測量粒徑、粒形和濃度；多種模塊配置可滿足不同類型的干法及濕法檢測需求；測量過程中可實時觀察樣品顆粒。馳光機電科技有限公司具有一支經驗豐富、技術力量過硬的專業(yè)技術人才管理團隊。貴州激光粒度粒形分析儀價格

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應用實例：測量高純氧化鋁粉。一般來說，含量大于99%的氧化鋁稱為高純氧化鋁，其特性有耐化學腐蝕、耐高溫(正常使用在1600℃，短期1800℃)、耐驟冷驟熱、密度高等。99.995%高純氧化鋁粉主要用于LED人造藍寶石晶體、高級陶瓷、PDP熒光粉及其他高性能材料；99.99%高純氧化鋁粉用于高壓鈉燈、新型發(fā)光材料、特殊陶瓷、高級涂層、三基色、催化劑及其他高性能材料。粒度是高純氧化鋁粉產品的重要指標，CPS納米粒度分析儀能給您帶來確切穩(wěn)定的測量結果。使用CPS分析儀平行測定3次高純氧化鋁粉得到的疊加圖。重慶高精度納米粒度分析儀

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