將上述sr摻雜batio3/znte工作電極放入光電化學(xué)反應(yīng)器內(nèi),與鉑片對電極組裝成兩電極體系,將該電極在+,所用溶液為碳酸丙烯酯,用去離子水清洗后,將光電極在真空條件下50℃干燥10h。之后,采用上海辰華chi660e電化學(xué)工作站,將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系,電解質(zhì)溶液為。光電流測試前,往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個(gè)小時(shí),使溶液中的氧氣排盡,co2濃度達(dá)到飽和。圖4為本實(shí)施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極在。由圖可知,單獨(dú)的znte光電催化難以產(chǎn)生co產(chǎn)物,說明znte光陰極的大部分載流子不能與co2發(fā)生相互作用,導(dǎo)致界面載流子嚴(yán)重復(fù)合,co產(chǎn)生量很低。但是,sr摻雜batio3/znte工作電極的co產(chǎn)量明顯增加,說明sr摻雜batio3增加了znte表面的載流子濃度,間接證實(shí)了sr摻雜batio3的載流子分離作用。硅光二極管哪家棒!世華高。硅光硅光電二極管生產(chǎn)廠家
6)在sio2層104、si3n4層105上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106;7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108。進(jìn)一步的,所述的襯底107采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層109是由折射率~~,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成;所述的外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護(hù)環(huán)102為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。所述的有源區(qū)103為b離子源注入,注入劑量為1e15~2e15;所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成。具體的,包括以下操作:1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107,在其上通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜生成厚度3~5um的高反層109;其中。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展。南京進(jìn)口硅光電二極管二極管pin硅光電二極管哪家好!世華高好。
以p型離子注入形成有源區(qū);所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開設(shè)刻蝕孔;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū);5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳。
本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果:本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,通過適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率,耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低,本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補(bǔ)償;高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時(shí),降低響應(yīng)時(shí)間;由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低,擴(kuò)散區(qū)阻抗很小,因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,由于通過低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻,縮短了擴(kuò)散時(shí)間;而高反層的設(shè)置提高了長波的吸收效率,降低了耗盡區(qū)的物理厚度,縮短了漂移時(shí)間,并且在其上開孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進(jìn)行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖;圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖;圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測試曲線;圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅光電二極管廠家就找世華高。
其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。采用上海辰華chi660e電化學(xué)工作站,將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系,電解質(zhì)溶液為。光電流測試前,往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個(gè)小時(shí),使溶液中的氧氣排盡,co2濃度達(dá)到飽和。圖3為本實(shí)施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極的性掃描伏安法圖,掃描速度為20mv/s。由圖可知,znte電極經(jīng)sr摻雜batio3鐵電材料修飾后,光電流密度增加,且co2還原的起始電位正移,說明鐵電材料的極化場對znte電極的光電流具有明顯的促進(jìn)作用。在可見光照射下,有znte被激發(fā),說明復(fù)合材料光電流的提升來自于鐵電材料的改性作用。實(shí)施例三稱取、,依次加入2ml乙酸、8ml乙醇和8ml水,攪拌一定時(shí)間,使固體粉末完全溶解;然后,加入,攪拌24h,得到紡絲溶液;移取7ml紡絲溶液到10ml注射器中。硅光電池就找深圳世華高。深圳光電硅光電二極管找哪家
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硅光二極管在光電子學(xué)領(lǐng)域的重要性不言而喻。作為光電轉(zhuǎn)換的基本單元,它在光信號的接收、處理和傳輸中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。隨著光電子技術(shù)的飛速發(fā)展,硅光二極管不僅在傳統(tǒng)的通信領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,還在新興的光計(jì)算、光存儲等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的潛力。其優(yōu)異的性能和穩(wěn)定性使其成為光電子器件中的佼佼者。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富,公司的銷售業(yè)績穩(wěn)步提升。硅光硅光電二極管生產(chǎn)廠家