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杭州雙面微晶異質(zhì)結(jié)CVD

來源: 發(fā)布時間:2024-02-25

異質(zhì)結(jié)電池的優(yōu)勢有,優(yōu)勢一:工藝流程短HJT電池主工藝有4道:制絨、非晶硅沉積、TCO沉積、絲網(wǎng)印刷;遠少于PERC(10個)和TOPCON(12-13個);其中,非晶硅沉積主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有兩種方法:RPD(反應(yīng)等離子沉積)和PVD。優(yōu)勢二:轉(zhuǎn)換效率高得益于N型硅襯底以及非晶硅對基底表面缺陷的雙重鈍化作用。目前量產(chǎn)效率普遍已在25%以上;更高的轉(zhuǎn)化效率需要在前后表面使用摻雜納米晶硅、摻雜微晶硅、摻雜微晶氧化硅、摻雜微晶碳化硅取代現(xiàn)有的摻雜。HJT效率潛力超28%,遠高PERC電池。優(yōu)勢三:無LID&PID,低衰減無LID與PID:由于HJT電池襯底通常為N型單晶硅,而N型單晶硅為磷摻雜,不存在P型晶硅中的硼氧復(fù)合、硼鐵復(fù)合等,所以HJT電池對于LID效應(yīng)是免疫的。HJT電池的表面沉積有TCO薄膜,無絕緣層,因此無表面層帶電的機會,從結(jié)構(gòu)上避免PID發(fā)生。低衰減:HJT電池首年衰減1-2%,此后每年衰減0.25%,遠低于PERC電池?fù)芥壠乃p情況(首年衰減2%,此后每年衰減0.45%),因此HJT電池全生命周期每W發(fā)電量高出雙面PERC電池約1.9%-2.9%。異質(zhì)結(jié)電池主工藝之一:金屬化設(shè)備。杭州雙面微晶異質(zhì)結(jié)CVD

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異質(zhì)結(jié)電池為對稱的雙面結(jié)構(gòu),主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中,本征非晶硅層起到表面鈍化作用,P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層,N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案:釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化,該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝,提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能,并降低了生產(chǎn)成本。河南高效硅異質(zhì)結(jié)濕法設(shè)備零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備,可實現(xiàn)更低的度電成本及更好的長期可靠性。

異質(zhì)結(jié)HJT電池生產(chǎn)設(shè)備,制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層;2利用KOH腐蝕液對n型硅片進行各項異性腐蝕,將Si(100)晶面腐蝕為Si(111)晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)(“金字塔結(jié)構(gòu)”),即在硅片表面形成絨面,可將硅片表面反射率降低至12.5%以下,從而產(chǎn)生更多的光生載流子;3形成潔凈硅片表面,由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分,避免不潔凈引進的缺陷和雜質(zhì)而帶來的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時,單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯,速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF);因此改變堿溶液的濃度及溫度,可以有效地改變AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面;在制絨工序,絨面大小為主要指標(biāo),一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時間等來進行調(diào)節(jié)控制。

光伏異質(zhì)結(jié)的效率提高可以從以下幾個方面入手:1.提高光吸收率:通過優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和厚度,增加光吸收的有效路徑,提高光吸收率,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。2.提高載流子的收集效率:通過優(yōu)化電極結(jié)構(gòu)和材料,減小電極與半導(dǎo)體之間的接觸電阻,提高載流子的收集效率,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。3.降低復(fù)合損失:通過控制材料的缺陷密度和表面狀態(tài),減少載流子的復(fù)合損失,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。4.提高光電轉(zhuǎn)換效率:通過優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu),提高光電轉(zhuǎn)換效率,從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。5.提高光伏電池的穩(wěn)定性:通過優(yōu)化材料的穩(wěn)定性和耐久性,提高光伏電池的使用壽命和穩(wěn)定性,從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。光伏異質(zhì)結(jié)與鈣鈦礦太陽能電池的結(jié)合,進一步提高了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

異高效質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫,是一種N型單晶雙面電池,具有工藝簡單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢。異質(zhì)結(jié)太陽能電池使用晶體硅片進行載流子傳輸和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅層進行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物(TCO)層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意,因為它們可以達到很高的轉(zhuǎn)換效率,可達26.3%,由隆基團隊對HJT極限效率進行更新為28.5%,同時使用低溫度加工,通常整個過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓,同時保持高產(chǎn)量。光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)能夠降低電池的光衰減,提高電池的長期穩(wěn)定性,延長電池的使用壽命。安徽專業(yè)異質(zhì)結(jié)鍍膜設(shè)備

異質(zhì)結(jié)電池技術(shù)升級讓光伏行業(yè)規(guī)模持續(xù)擴大,設(shè)備國產(chǎn)化,成本繼續(xù)降低,使HJT技術(shù)將更具有競爭力。杭州雙面微晶異質(zhì)結(jié)CVD

HJT電池所有制程的加工溫度均低于250,避免了生產(chǎn)效率低而成本高的高溫擴散制結(jié)的過程,而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學(xué)帶隙、沉積速率、吸收系數(shù)以及氫含量得到較精確的控制,也可避免因高溫導(dǎo)致的熱應(yīng)力等不良影響。HJT電池轉(zhuǎn)換效率高,拓展?jié)摿Υ?,工藝簡單并且降本路線清晰,契合了光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律,是有潛力的下一代電池技術(shù)。HJT電池為對稱的雙面結(jié)構(gòu),主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中,本征非晶硅層起到表面鈍化作用,P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層,N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。杭州雙面微晶異質(zhì)結(jié)CVD

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