氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔的原理是利用節(jié)流效應(yīng)來實現(xiàn)氣體的泄漏。具體來說,當(dāng)氣體通過漏孔時,由于孔徑的限制和節(jié)流效應(yīng)的作用,氣體的流量是會受到一定的限制,從而實現(xiàn)氣體上的泄漏。通過來調(diào)節(jié)漏孔的大小和孔徑,可以控制氣體的泄漏速率和流量,從而模擬出不同的氣體泄漏情況??勺稣龎?真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔、響應(yīng)速度快,等待時間短、受外界溫度變化影響小,溫度系數(shù)小于0.5%/℃、耐高溫,耐沖擊,抗震,抗摔,壽命長、支持定制多種規(guī)格接頭,可配置不同品牌設(shè)計、漏率范圍廣,支持漏率定制,支持同時指定漏率和壓力。標(biāo)準(zhǔn)漏孔適用于多種氣體介質(zhì)的檢漏場景。四川標(biāo)準(zhǔn)漏孔生產(chǎn)廠家
10-7Pa·m3/s量級以下的漏孔,在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的,但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu),通常會關(guān)閉閥門。對于滲氦型漏孔,如果長時間關(guān)閉閥門會積攢一定的氦氣,使得滲透元件的邊界條件遭到破壞,使用時短時間內(nèi)漏率值便會偏大,打開閥門經(jīng)過一段時間(24小時)平衡后,漏率值會還原。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的應(yīng)用包括氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)、作為氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)漏孔、氦質(zhì)譜檢漏儀小的可檢漏率校準(zhǔn)以及實際漏孔漏率的確定等。浙江通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔出口多大標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。
氣密性檢漏儀校準(zhǔn)漏孔特別指出是來用于空氣(Air)?的,漏孔通常用于真空技術(shù)、?氣體檢測、?泄漏測試等領(lǐng)域,?用于模擬或者檢測氣體泄漏的情況。?VTL-DA型號可能具有特定的流量、?壓力或泄漏率等參數(shù)。漏孔原件微通道毛細(xì)管、金屬壓扁管、激光打孔,根據(jù)客戶需要來定制、漏率:0.01mL/min~50L/min,可定制、壓力:-100KPa~15MPa(±15%)、接口類型:快插快擰4/6/8mm等可定制、氣體類型:Air、N2 等、應(yīng)用:各種氣密性檢漏儀及檢漏系統(tǒng)校準(zhǔn)
滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感;長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定;漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣,其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外,滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為±15%,溫度補償約為3%/°C,并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性,出口閥門為手動(選配),接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制,出口為真空,可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異,例如,對于10-7Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于3%/y;以此類推,直到10-12Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于0.1%/y。標(biāo)準(zhǔn)漏孔受氣流影響需穩(wěn)定狀態(tài)使用 。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長其有效的使用時間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在制冷設(shè)備檢漏工作中很關(guān)鍵 。四川標(biāo)準(zhǔn)漏孔生產(chǎn)廠家
標(biāo)準(zhǔn)漏孔老化會導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。四川標(biāo)準(zhǔn)漏孔生產(chǎn)廠家
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的優(yōu)點是漏率穩(wěn)定:檢漏儀自帶的滲氦漏孔,溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃,由于天氣原因不同的溫差,以及檢漏儀內(nèi)部開機(jī)前后內(nèi)部相對封閉環(huán)境的溫度變化等,均會對漏孔的漏率影響相對較大,而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時間非常長,通常來說是需要幾個小時的,這必然會造成檢漏儀上的偏差; 上海東貝真空采用的是微通道毛細(xì)管技術(shù)它的溫度補償小于0.3%/℃,可以忽略溫度補償(溫度變化10℃漏率變化相當(dāng)于滲氦漏孔變化1℃)。四川標(biāo)準(zhǔn)漏孔生產(chǎn)廠家
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