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SiC晶圓磨削砂輪發(fā)展趨勢(shì)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-13

襯底粗磨減薄砂輪的應(yīng)用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造,具有優(yōu)異的端面跳動(dòng)和外圓跳動(dòng)控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護(hù)晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時(shí)致電咨詢~在8吋SiC線割片的粗磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上達(dá)到磨耗比30%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。SiC晶圓磨削砂輪發(fā)展趨勢(shì)

SiC晶圓磨削砂輪發(fā)展趨勢(shì),砂輪

在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,精度和效率是關(guān)鍵。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,通過其**超細(xì)金剛石磨粒**和**超高自銳性**,實(shí)現(xiàn)了高磨削效率和低損傷的完美平衡。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,6吋和8吋SiC線割片的加工結(jié)果顯示,表面粗糙度Ra值和總厚度變化TTV均達(dá)到了行業(yè)先進(jìn)水平。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,還為客戶節(jié)省了大量時(shí)間和成本,助力優(yōu)普納在國(guó)產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場(chǎng)中占據(jù)重要地位。耐磨砂輪源頭工廠優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪在性能和質(zhì)量上不斷突破,為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體加工設(shè)備及耗材的自主可控發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的**低損耗特性**,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長(zhǎng)時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長(zhǎng)。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。

江蘇優(yōu)普納科技有限公司:碳化硅減薄砂輪已通過東京精密、DISCO等主流設(shè)備的兼容性測(cè)試,并獲得多家國(guó)際半導(dǎo)體廠商的認(rèn)證。例如,在DISCO-DFG8640設(shè)備上,優(yōu)普納砂輪連續(xù)加工1000片8吋SiC晶圓后,磨耗比仍穩(wěn)定在200%以內(nèi),精度無衰減。這一表現(xiàn)不只達(dá)到進(jìn)口砂輪水平,更以快速交付與本地化服務(wù)贏得客戶青睞,成為國(guó)產(chǎn)替代優(yōu)先選擇的品牌。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。優(yōu)普納砂輪的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑,賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐磨性和韌性,確保在高負(fù)荷加工條件下的穩(wěn)定性能。

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在科技飛速發(fā)展的如今,精磨減薄砂輪行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新日新月異,江蘇優(yōu)普納科技有限公司始終走在技術(shù)創(chuàng)新的前沿。在結(jié)合劑技術(shù)方面,公司取得了重大突破。如研發(fā)的用于半導(dǎo)體晶圓減薄砂輪的微晶玻璃結(jié)合劑,其軟化溫度較低,卻具備較高的強(qiáng)度和潤(rùn)濕性。這種結(jié)合劑能夠更好地把持磨粒,同時(shí)在磨削過程中,由于其獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì),能使磨粒在合適的時(shí)機(jī)實(shí)現(xiàn)自銳,明顯提升了砂輪的磨削性能和使用壽命。在磨粒制備技術(shù)上,優(yōu)普納針對(duì)不同的加工材料,研發(fā)出了一系列定制化的磨粒。例如,對(duì)于硬度極高的第三代半導(dǎo)體材料,通過優(yōu)化金剛石磨粒的粒徑、形狀和表面處理工藝,使其在磨削過程中能夠更高效地切入材料,減少磨削力,降低工件表面損傷風(fēng)險(xiǎn)。此外,在砂輪制造工藝上,引入先進(jìn)的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備和精密檢測(cè)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了對(duì)砂輪制造過程的全程精確控制,確保每一片砂輪都具有穩(wěn)定且優(yōu)異的性能,不斷推動(dòng)精磨減薄砂輪技術(shù)向更高水平邁進(jìn),為行業(yè)發(fā)展注入新的活力。憑借獨(dú)特的結(jié)合劑配方和顯微組織設(shè)計(jì),砂輪在粗磨和精磨中均表現(xiàn)出色 助力第三代半導(dǎo)體材料加工邁向新高度。第三代砂輪維護(hù)

在DISCO-DFG8640減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,優(yōu)普納砂輪對(duì)6吋SiC線割片進(jìn)行粗磨,磨耗比11%,Ra≤30nm TTV≤3μm。SiC晶圓磨削砂輪發(fā)展趨勢(shì)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,超薄晶圓的需求持續(xù)增長(zhǎng)。這對(duì)襯底粗磨減薄砂輪提出了更高的挑戰(zhàn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢(shì),致力于研發(fā)更先進(jìn)的砂輪技術(shù)和制造工藝。我們通過與高校、科研機(jī)構(gòu)的合作,不斷探索新的磨料、結(jié)合劑和制備技術(shù),以提高砂輪的磨削效率和加工質(zhì)量。同時(shí),我們還注重環(huán)保型砂輪的研發(fā)和推廣,積極響應(yīng)國(guó)家對(duì)于綠色制造的號(hào)召。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。SiC晶圓磨削砂輪發(fā)展趨勢(shì)

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