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GaN砂輪注意事項(xiàng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-24

在半導(dǎo)體制造等精密加工領(lǐng)域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過(guò)砂輪高速旋轉(zhuǎn),磨粒與工件表面產(chǎn)生強(qiáng)烈摩擦,從而實(shí)現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅(jiān)硬且脆性大的半導(dǎo)體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì),從粗粒度用于高效去除大量材料,到細(xì)粒度實(shí)現(xiàn)精密的表面修整,整個(gè)過(guò)程如同工匠精心雕琢藝術(shù)品。在磨削過(guò)程中,結(jié)合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時(shí)機(jī)發(fā)揮磨削功能,同時(shí)又能在磨粒磨損到一定程度時(shí),適時(shí)讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過(guò)程被稱(chēng)為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結(jié)合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過(guò)優(yōu)化結(jié)合劑配方,實(shí)現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長(zhǎng)時(shí)間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導(dǎo)體晶圓的高質(zhì)量減薄加工奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。優(yōu)普納砂輪的高性能陶瓷結(jié)合劑,賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐磨性和韌性,確保在高負(fù)荷加工條件下的穩(wěn)定性能。GaN砂輪注意事項(xiàng)

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的**低損耗特性**,為客戶(hù)節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線(xiàn)割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線(xiàn)割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長(zhǎng)時(shí)間的加工過(guò)程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長(zhǎng)。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性?xún)r(jià)比,助力優(yōu)普納在國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。砂輪硬度優(yōu)普納砂輪的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑,賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐磨性和韌性,確保在高負(fù)荷加工條件下的穩(wěn)定性能。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,展現(xiàn)了強(qiáng)大的設(shè)備適配性。其基體優(yōu)化設(shè)計(jì)能夠根據(jù)客戶(hù)不同設(shè)備需求進(jìn)行定制,無(wú)論是東京精密還是DISCO的減薄機(jī),都能完美適配。這種強(qiáng)適配性不只減少了客戶(hù)在設(shè)備調(diào)整上的時(shí)間和成本,還確保了加工過(guò)程的高效性和穩(wěn)定性。在DISCO-DFG8640減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,無(wú)論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,滿(mǎn)足不同加工需求。這種綜合優(yōu)勢(shì),使得優(yōu)普納的砂輪在市場(chǎng)上更具競(jìng)爭(zhēng)力,能夠快速響應(yīng)客戶(hù)需求,為客戶(hù)提供一站式的解決方案。

隨著制造業(yè)的不斷發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)高性能磨削工具的需求日益增加。激光改質(zhì)層減薄砂輪憑借其優(yōu)越的性能,逐漸成為各類(lèi)加工行業(yè)的優(yōu)先選擇工具。特別是在航空航天、汽車(chē)制造、模具加工等制造領(lǐng)域,激光改質(zhì)層減薄砂輪的應(yīng)用愈發(fā)增加。這些行業(yè)對(duì)產(chǎn)品的精度和表面質(zhì)量要求極高,而激光改質(zhì)層減薄砂輪能夠在保證加工質(zhì)量的同時(shí),提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。此外,隨著環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng),激光改質(zhì)層減薄砂輪的低磨損特性也符合可持續(xù)發(fā)展的要求,進(jìn)一步推動(dòng)了其市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)。通過(guò)多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),砂輪在DISCO-DFG8640減薄機(jī)上加工8吋SiC線(xiàn)割片 磨耗比30%,Ra≤30nm TTV≤3μm。

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針對(duì)第三代半導(dǎo)體材料(SiC/GaN)的減薄需求,優(yōu)普納砂輪適配6吋、8吋晶圓,滿(mǎn)足襯底片粗磨、精磨全流程。以東京精密HRG200X設(shè)備為例,6吋SiC線(xiàn)割片采用2000#砂輪粗磨,磨耗比只15%,Ra≤30nm;精磨使用30000#砂輪,磨耗比120%,Ra≤3nm,TTV穩(wěn)定在2μm以下。DISCO設(shè)備案例中,8吋晶圓精磨后TTV≤2μm,適配性強(qiáng),可替代日本、德國(guó)進(jìn)口產(chǎn)品。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢(xún),為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品以及方案。碳化硅晶圓減薄砂輪,采用高性能陶瓷結(jié)合劑及“Dmix+”制程工藝,為第三代半導(dǎo)體材料加工提供高效的方案。SiC砂輪工藝

在東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,優(yōu)普納砂輪加工6吋SiC線(xiàn)割片,磨耗比為15%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。GaN砂輪注意事項(xiàng)

江蘇優(yōu)普納科技有限公司:5G基站氮化鎵(GaN)器件對(duì)晶圓表面質(zhì)量要求極高,江蘇優(yōu)普納科技有限公司的砂輪通過(guò)超精密磨削工藝實(shí)現(xiàn)Ra≤3nm的鏡面效果。某通信設(shè)備制造商采用優(yōu)普納砂輪加工6吋GaN襯底,精磨磨耗比120%,TTV≤2μm,芯片良率從88%提升至95%,單月產(chǎn)能突破10萬(wàn)片。這一案例驗(yàn)證了國(guó)產(chǎn)砂輪在高頻、高功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的可靠性與競(jìng)爭(zhēng)力。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢(xún),為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品以及方案。GaN砂輪注意事項(xiàng)

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