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安徽X8M探針臺平臺

來源: 發(fā)布時間:2023-11-01

隨著半導體市場的逐步開放和增長,作為半導體檢測的必備儀器—探針臺的市場也在逐年增長和擴大中,不論是海外品牌還是國產(chǎn)品牌,近幾年在半導體檢測儀器市場中的規(guī)模都在逐年擴大。由于高校的管理模式及制度,探針臺大多養(yǎng)在“深閨”,大量科研資源潛能沒有得到充分發(fā)揮。為解決這個問題并加速釋放科技創(chuàng)新的動能,中間及各級government在近幾年來制訂頒布了關(guān)于科學儀器、科研數(shù)據(jù)等科技資源的共享與平臺建設(shè)文件。2021年1月22日,科技部和財政部聯(lián)合發(fā)布《科技部 財政部關(guān)于開展2021年度國家科技基礎(chǔ)條件資源調(diào)查工作的通知(國科發(fā)基〔2020〕342號)》,全國眾多高校和科研院所將各種科學儀器上傳共享。其中,對探針臺的統(tǒng)計分析或可一定程度反映科研領(lǐng)域相關(guān)儀器的市場信息(注:本文搜集信息來源于重大科研基礎(chǔ)設(shè)施和大型科研儀器國家網(wǎng)絡(luò)管理平臺,部分儀器品牌信息不全則根據(jù)型號等信息補全,不完全統(tǒng)計分析只供讀者參考)。探針臺具有規(guī)?;?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國際性等特點,是人類探索宇宙的中心樞紐。安徽X8M探針臺平臺

探針測試臺x-y工作臺的分類,縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。安徽X8M探針臺平臺探針臺的設(shè)立有助于拓展對太空天體的認識。

探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)。針對集成電路以及封裝的測試。 探針臺廠家生產(chǎn)的探針臺普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。激光探針臺,探針臺應用范圍:8寸以內(nèi)Wafer,IC測試,IC設(shè)計等;激光探針臺測試內(nèi)容:1. 微小連接點信號引出;2. 失效分析失效確認;3. FIB電路修改后電學特性確認;4. 晶圓可靠性驗證;5. 激光打標;6. 表層修復線路;7. 驅(qū)除短路點;8. 激光斷線;9. 干擾芯片測試。

探針臺分類,探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(較低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟手動型,根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選);X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學研究提供了寶貴的資源。

不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺還可根據(jù)測量需求,設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應的移動定位功能,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實現(xiàn)探針的精密移動定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度、導向機構(gòu)的直線度、往復精度、長期使用時以上指標的可靠性都是選購定位器時應當考慮的主要指標。探針臺的科技成果對推進全球科學事業(yè)、推動人類文明進步發(fā)揮著重要的作用。北京大型探針臺價格

探針臺的建設(shè)需要科學家們共同匯聚自己的智慧。安徽X8M探針臺平臺

探針臺(Prober station)又稱探針測試臺,主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對晶圓(Wafer)上得器件進行電特性測試或故障分析而使用得精密機臺,通過探針臺能很好得幫助工程技術(shù)人員實現(xiàn)微小位置得電學參數(shù)測試。安徽X8M探針臺平臺

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