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來源: 發(fā)布時間:2024-01-08

    夾取機構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,由升降裝置帶動承載裝置下降到檢測位置,能夠防止因夾取機構(gòu)夾不緊,使得晶圓從高處跌落,造成損壞的情況發(fā)生,使得晶圓運輸更加安全可靠。附圖說明圖是本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的升降裝置的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的移動模塊的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的托臂、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖中,、感應(yīng)裝置;、承接裝置;、托臂;、限位部;、承托部;、升降裝置;、升降驅(qū)動器;、升降板;、安裝板;、升降絲桿機構(gòu);、聯(lián)軸器;、移動模塊;、固定板;、移動電機;、傳動組件;、主動輪;、從動輪;、同步帶;、滑軌;、滑塊;、連接塊。具體實施方式下面結(jié)合附圖和實施例,對本實用新型的具體實施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本實用新型。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電全自動高精度共晶機。昆明全自動共晶機廠家現(xiàn)貨

    從動輪盤與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接。底板上對應(yīng)驅(qū)動輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,驅(qū)動輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動設(shè)置在軸承上。推薦的,底板還設(shè)置有相對設(shè)置的兩個限位輪座,軸承和驅(qū)動輪盤設(shè)置在兩個限位輪座之間。其中,齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,也即如圖所示,齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈。軸承可為法蘭軸承,數(shù)量可為兩個,兩個軸承分別設(shè)置在兩個限位輪座之間,且每個軸承設(shè)置在一個限位輪座上,軸承與限位輪座均位于驅(qū)動輪盤的下方。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動輪盤,使驅(qū)動輪盤能夠轉(zhuǎn)動,且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動輪盤的位置,同時還可使得固定架在水平設(shè)置時,從動輪盤與底板泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。廣州倒裝共晶機提升UVC LED可靠性,共晶固晶機必不可少! 泰克光電。

    升降板滑動連接在導(dǎo)軌上。進(jìn)一步地,為了使托臂能夠在水平方向上自由移動。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,托臂通過移動模塊安裝在升降板上,移動模塊與控制系統(tǒng)電連接,移動模塊安裝在升降板的頂部且與托臂的底部連接,用于驅(qū)動托臂在升降板上沿水平方向來回滑動。控制系統(tǒng)控制移動模塊在水平方向上來回移動,以帶動托臂在升降板的頂部來回移動。移動模塊包括固定板、移動電機和傳動組件,固定板水平安裝在升降板上,移動電機固定安裝在固定板上且與控制系統(tǒng)電連接,移動電機的輸出端與傳動組件的輸入端連接,傳動組件的輸出端與托臂連接,移動電機驅(qū)動傳動組件帶動托臂在固定板上滑動。

    移動至夾取機構(gòu)的下方,并盡量貼近夾取機構(gòu)和晶圓。夾取機構(gòu)將晶圓放置在托臂上,能夠減少晶圓跌落摔壞的風(fēng)險,使得整個晶圓搬運過程更加安全穩(wěn)定。綜上,本實用新型實施例提供一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu),其包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,承接裝置包括托臂,托臂安裝在升降裝置上,可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下,晶圓視覺檢測機的夾取機構(gòu)夾住晶圓。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,并將信息反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,盡量接近晶圓的位置。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。全自動高精度共晶機找泰克光電。

    防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching)。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進(jìn)行的。首先、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠。由于離心力的作用,光刻膠在基片表面均勻地展開,多余的光刻膠被甩掉,獲得一定厚度的光刻膠膜,光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制。所謂光刻膠,是對光、電子束或X線等敏感,具有在顯影液中溶解性的性質(zhì),同時具有耐腐蝕性的材料。一般說來,正型膠的分辨率高,而負(fù)型膠具有感光度以及和下層的粘接性能好等特點。光刻工藝精細(xì)圖形(分辨率,清晰度),以及與其他層的圖形有多高的位置吻合精度(套刻精度)來決定,因此有良好的光刻膠,還要有好的曝光系統(tǒng)。晶圓晶圓的背面研磨工藝晶圓的集成電路制造,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,在硅晶圓正面制作完集成電路后,需要進(jìn)行背面減薄。晶圓的背面研磨工藝,是在晶圓的正面貼一層膜保護(hù)已經(jīng)制作好的集成電路,然后通過研磨機來進(jìn)行減薄。晶圓背面研磨減薄后,表面會形成一層損傷層,且翹曲度高,容易破片。為了解決這些問題。泰克光電|#共晶機廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家。廣州倒裝共晶機

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    我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。安裝板安裝在晶圓視覺檢測機上,升降驅(qū)動器通過升降絲桿機構(gòu)與升降板連接,升降絲桿機構(gòu)豎直安裝在安裝板上,升降絲桿機構(gòu)的輸入端與升降驅(qū)動器的輸出端連接,升降絲桿機構(gòu)的輸出端與升降板連接。安裝板是整個升降裝置的承載基礎(chǔ)。安裝板和升降驅(qū)動器均豎直固定在晶圓視覺檢測機上。安裝板上安裝有升降絲桿機構(gòu),利用升降絲桿機構(gòu)傳遞動力,具有傳遞精度高的優(yōu)點。具體的,升降絲桿機構(gòu)包括豎直安裝在安裝板上的升降絲桿和升降螺母接在升降絲桿上的升降螺母,升降絲桿與升降電機的輸出端連接,隨升降電機的輸出軸轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。升降螺母與升降板固定連接。在工作狀態(tài)下,當(dāng)需要調(diào)整托臂與夾取機構(gòu)之間的距離時,控制系統(tǒng)控制升降電機驅(qū)動升降絲桿轉(zhuǎn)動,使得升降螺母在升降絲桿上上下移動,升降板和托臂隨之在豎直方向上移動。在本實施例中,升降電機通過聯(lián)軸器將動力傳遞給升降絲桿。聯(lián)軸器在傳遞運動和動力過程中一同回轉(zhuǎn),用來防止升降絲桿承受過大的載荷,起到過載保護(hù)的作用。安裝板上還可以豎直設(shè)有兩條導(dǎo)軌,兩條導(dǎo)軌起導(dǎo)向作用。昆明全自動共晶機廠家現(xiàn)貨

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